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液浸

索引 液浸

テッパーによる超純水を用いたフォトリソグラフィの模式図 光学顕微鏡による液浸 液浸(えきしん)とは、光学系において液体を使用することによって高性能化を図る手段のことである。液体として油を用いる場合には油浸とよばれる。 ステッパーを用いたフォトリソグラフィによる半導体で製造で微細化を図る手段、光学顕微鏡で分解能を上げる手段などに用いられる。.

39 関係: 半導体屈折率ナノメートルムーアの法則リーク電流レーザープランクトンプレパラートフッ素フォトリソグラフィフォトレジスト分解能アルゴンアニソールウェハーエキシマレーザーオリンパスキシレングリセリンコンデンサシーエムシー出版スライドガラスステッパーソリッドイマージョンレンズ光学顕微鏡球面収差細菌学純水解像度超純水超解像技術超撥水走査型電子顕微鏡開口数蛍光極端紫外線リソグラフィ望遠鏡日本電気

半導体

半導体(はんどうたい、semiconductor)とは、電気伝導性の良い金属などの導体(良導体)と電気抵抗率の大きい絶縁体の中間的な抵抗率をもつ物質を言う(抵抗率だけで半導体を論じるとそれは抵抗器と同じ特性しか持ち合わせない)。代表的なものとしては元素半導体のケイ素(Si)などがある。 電子工学で使用されるICのような半導体素子はこの半導体の性質を利用している。 良導体(通常の金属)、半導体、絶縁体におけるバンドギャップ(禁制帯幅)の模式図。ある種の半導体では比較的容易に電子が伝導帯へと遷移することで電気伝導性を持つ伝導電子が生じる。金属ではエネルギーバンド内に空き準位があり、価電子がすぐ上の空き準位に移って伝導電子となるため、常に電気伝導性を示す。.

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屈折率

屈折率(くっせつりつ、)とは、真空中の光速を物質中の光速(より正確には位相速度)で割った値であり、物質中での光の進み方を記述する上での指標である。真空を1とした物質固有の値を絶対屈折率、2つの物質の絶対屈折率の比を相対屈折率と呼んで区別する場合もある。.

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ナノメートル

ナノメートル(nanometre、記号: nm)は、国際単位系の長さの単位で、10−9メートル (m).

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ムーアの法則

インテル製プロセッサのトランジスタ数の成長(各点)とムーアの法則(上線.

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リーク電流

リーク電流(リークでんりゅう、leakage current)とは、電子回路上で、絶縁されていて本来流れないはずの場所・経路で漏れ出す電流のことである。 当該電気回路内に限る意図しない電流の漏れ出しがリーク電流であり、当該電気回路外へ漏れ出す漏電とは区別される。集積回路などの微細化された半導体の回路内での漏れ出しを指すことが多い。.

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レーザー

レーザー(赤色、緑色、青色) クラシックコンサートの演出で用いられた緑色レーザー He-Ne レーザー レーザー(laser)とは、光を増幅して放射するレーザー装置を指す。レーザとも呼ばれる。レーザー光は指向性や収束性に優れており、また、発生する電磁波の波長を一定に保つことができる。レーザーの名は、Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation(輻射の誘導放出による光増幅)の頭字語(アクロニム)から名付けられた。 レーザーの発明により非線形光学という学問が生まれた。 レーザー光は可視光領域の電磁波であるとは限らない。紫外線やX線などのより短い波長、また赤外線のようなより長い波長のレーザー光を発生させる装置もある。ミリ波より波長の長い電磁波のものはメーザーと呼ぶ。.

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プランクトン

プランクトン(Plankton、浮遊生物)とは、水中や水面を漂って生活する生物の総称。様々な分類群に属する生物を含む。微小なものが多く、生態系では生態ピラミッドの下層を構成する重要なものである。.

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プレパラート

プレパラート(Präparat)とは、顕微鏡観察を行うにあたり観察対象(試料)を検鏡可能な状態に処理したものである。通常、光学顕微鏡の観察用に調製 (preparation) したものをこう呼ぶ。.

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フッ素

フッ素(フッそ、弗素、fluorine)は原子番号 9 の元素。元素記号はラテン語のFluorumの頭文字よりFが使われる。原子量は 18.9984 で、最も軽いハロゲン元素。また、同元素の単体であるフッ素分子(F2、二弗素)をも示す。 電気陰性度は 4.0 で全元素中で最も大きく、化合物中では常に -1 の酸化数を取る。反応性が高いため、天然には蛍石や氷晶石などとして存在し、基本的に単体では存在しない。.

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フォトリソグラフィ

フォトリソグラフィ(photolithography)は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光(パターン露光、像様露光などとも言う)することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、半導体素子、プリント基板、印刷版、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる。.

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フォトレジスト

フォトレジスト(英語:photoresist)とは、フォトリソグラフィにおいて使用される、光や電子線等によって溶解性などの物性が変化する組成物である。物質の表面に塗布され、後に続くエッチングなどの処理から物質表面を保護することから、「レジスト」 (resist) の名がある。しかしながら、現在では、感光性を有し、画像様露光・現像によりパターニングを行って表面に画像層を形成することができる物質であればフォトレジストと呼ばれ、必ずしも保護の働きがあるとは限らない。.

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分解能

分解能(ぶんかいのう、Optical resolution)は、装置などで対象を測定または識別できる能力。顕微鏡、望遠鏡、回折格子などにおける能力の指標のひとつである。.

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アルゴン

アルゴン(argon)は原子番号 18 の元素で、元素記号は Ar である。原子量は 39.95。周期表において第18族元素(希ガス)かつ第3周期元素に属す。.

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アニソール

アニソール (anisole) とは、アニスの実に似た快い香りを示す有機化合物で、外見は無色の液体。ベンゼンの水素を1個メトキシ基 (–OCH3) に置き換えた構造 (C6H5OCH3) を持つ。消防法に定める第4類危険物 第2石油類に該当する。 アニソールでは、メトキシ基の共鳴効果による電子供与性によりベンゼン環の電子密度が高められており、求電子的反応に対し、オルト・パラ配向の大きな反応性を示す。例えば、無水酢酸とアニソールが反応すると、p-メトキシアセトフェノンが得られる。 アニソールと五硫化リン(分子式 P4S10)が反応するとローソン試薬を生じる。これは有機化合物上の酸素を硫黄に交換する硫化剤として有力な試薬である。 アニソールは香料、または合成中間体として用いられる。アニソール自身は昆虫のフェロモンの一種でもある。.

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ウェハー

ウェハー、ウェーハ、ウエーハ、ウエハー、ウェハ、ウエハ(ウェイファ、wafer、/wéifər/)は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。呼称は洋菓子のウェハースに由来する。.

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エキシマレーザー

マレーザー(Excimer Laser)とは希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いてレーザー光を発生させる装置である。元々は工業用として利用されていたが、最近ではレーシックなどの視力矯正手術においても利用されている。.

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オリンパス

リンパス株式会社(Olympus Corporation)は、日本の光学機器・電子機器メーカーである。本社は東京都新宿区西新宿に所在。.

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キシレン

レン (xylene) は分子式 C8H10、示性式 C6H4(CH3)2、 分子量 106.17 の芳香族化合物で、ベンゼンの水素のうち2つをメチル基で置換したものである。キシロールとも呼ばれる。.

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グリセリン

リセリン (glycerine, glycerin) は、3価のアルコールである。学術分野では20世紀以降グリセロール (glycerol) と呼ぶようになったが、医薬品としての名称を含め日常的にはいまだにグリセリンと呼ぶことが多い。食品添加物として、甘味料、保存料、保湿剤、増粘安定剤などの用途がある。虫歯の原因となりにくい。医薬品や化粧品には、保湿剤・潤滑剤として使われている。.

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コンデンサ

ンデンサの形状例。この写真の中での分類としては、足のあるものが「リード形」、長方体のものが「チップ形」である 典型的なリード形電解コンデンサ コンデンサ(Kondensator、capacitor)とは、電荷(静電エネルギー)を蓄えたり、放出したりする受動素子である。キャパシタとも呼ばれる。(日本の)漢語では蓄電器(ちくでんき)などとも。 この素子のスペックの値としては、基本的な値は静電容量である。その他の特性としては印加できる電圧(耐圧)、理想的な特性からどの程度外れているかを示す、等価回路における、直列の誘導性を示す値と直列並列それぞれの抵抗値などがある。一般に国際単位系(SI)における静電容量の単位であるファラド(記号: F)で表すが、一般的な程度の容量としてはそのままのファラドは過大であり、マイクロファラド(μF.

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シーエムシー出版

株式会社シーエムシー出版(シーエムシーしゅっぱん、CMC Publishing Co.,Ltd.)は、日本の出版社。化学や電子工学などの専門書を中心に出版している。日本書籍出版協会、自然科学書協会に加盟している。.

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スライドガラス

ライドガラス(Microscope slide)は、主に光学顕微鏡を用いた観察の際、微小な試料を載せるために用いるガラス板のことである。スライドグラスとも呼ばれる。 通常、短辺2.5cm程度、長辺7.5cm程度、厚さ1.2mm程度である。 これに試料を乗せ、カバーガラスで挟むなど観察に便利な状態に調製したものをプレパラートと呼ぶ。.

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ステッパー

テッパー(stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。1つの露光エリアを露光する際にレチクルとウェハと固定して露光する装置と、レチクルとウェハーを同時に動かして露光する装置とがある。前者を「アライナー」、後者を「スキャナー」と呼ぶことが多い。後者のタイプは特性の良いレンズ中心部分を使用して露光することができるので微細化に向いているが、レチクルとウェハーを精密に同期させて露光する必要があるため構造が複雑となり、装置の価格も高価である。また、近年の微細化に対応するために投影レンズとウェハーの間の空間を液体で満たす液浸という方式も実用化されている。現在使用されている液体は超純水である。なお、液浸方式に於いては水のレジストへの影響を避けるためにトップコートと呼ばれる保護膜を塗布することが一般的である。トップコートの撥水性能が低いとステッパーの生産性を制約してしまうことから、薬液メーカによる撥水性能の開発競争が加速している。 ステッパーの性能(最小線幅、単位時間毎の処理枚数)は半導体産業の競争力に直結するため、各社が鎬を削っている。.

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ソリッドイマージョンレンズ

リッドイマージョンレンズ(Solid immersion lens: SIL)とは試料を高屈折率媒体で満たすことで、通常のレンズより高拡大率、高開口数を達成するためのレンズである。 SILは最初に光学顕微鏡での空間分解能を増強するために開発された。 SILには以下の2種類がある。.

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光学顕微鏡

'''研究・実習用光学顕微鏡の例''' 1:接眼レンズ、2:レボルバ、3:対物レンズ、4:粗動ハンドル、5:微動ハンドル、6:ステージ、7:鏡、8:コンデンサ、9:プレパラート微動装置 '''1900年代初頭に用いられていた顕微鏡の模式図''' 1:接眼レンズ、2:レボルバ、3:対物レンズ、4:粗動ハンドル、5:微動ハンドル、6:ステージ、7:鏡、8:絞り 双眼実体顕微鏡(ズーム機構・写真撮影対応鏡筒つき) '''双眼顕微鏡の光学系'''A:対物レンズ、B:ガリレオ望遠鏡接眼側に凹レンズを用いて正立像を得る光学系、C:調整ハンドル、D:内部対物レンズ、E:プリズム、F:リレーレンズ、G:網線、H:接眼レンズ 光学顕微鏡(こうがくけんびきょう)は、可視光線および近傍の波長域の光を利用する、顕微鏡の一種。単に顕微鏡と言う場合、これを指す。.

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球面収差

上図は理想的なレンズ。実際には球面収差により下図のように光が1点に収束しない。 球面収差 (spherical aberration) は、点を光源とする光線が光学系を通った後、焦点1点に収束せず前後にばらつく収差をいう『天文アマチュアのための望遠鏡光学・屈折編』pp.161-202「対物レンズ」。『天文アマチュアのための望遠鏡光学・反射編』pp.91-110「収差とその対策」。『ニコンの世界第6版』pp.250-255「ニッコールレンズ用語辞典」。。 コマ収差、非点収差、像面湾曲、歪曲収差と並んでザイデル収差の一つである。 この収差があると画面全体が不鮮明になる。視界の中心にも影響を与えるため、望遠鏡の分解能を阻害する最大の要因である。 写真に使う軟焦点レンズでは意図的にこれを残し印象的な像を得るのに利用している。.

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細菌学

細菌学(さいきんがく、英語:bacteriology)とは、.

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純水

純水(じゅんすい)とは、不純物を含まないかほとんど含まない、純度の高い水のことである。.

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解像度

解像度(かいぞうど)とは、ビットマップ画像における画素の密度を示す数値である。 すなわち、画像を表現する格子の細かさを解像度と呼び、一般に1インチをいくつに分けるかによって数字で表す。.

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超純水

超純水(ちょうじゅんすい、Ultra pure water)とは主に産業分野で用いられる用語で、極端に純度の高い水を指す。純水の製造方法では取り除けない有機物や微粒子、気体なども様々な工程を経て取り除かれているのが主な特徴である。.

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超解像技術

超解像技術(ちょうかいぞうぎじゅつ、Super-resolution)とはテレビなどに関わるデジタルでの画像処理技術の一つで、入力信号の解像度を高めて出力信号を作る技術を指し、具体的な製品では入力された動画や静止画の信号を高解像度化して出力したり、高解像度の画像を表示したりするものである。超解像技術は半導体露光装置や共焦点レーザー顕微鏡のような光学顕微鏡でも使用される。.

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超撥水

Aが超撥水状態 超撥水(ちょうはっすい)とは、高度な撥水性によって面に対して150°を超える接触角で水滴が接する現象のこと。なお、本項目では便宜上、面に対して0°に近い接触角で濡れが生ずる現象である超親水についても取り上げている。.

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走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡(そうさがたでんしけんびきょう、Scanning Electron Microscope、SEM)は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子(後方散乱電子、BSE)、透過電子、X線、カソードルミネッセンス(蛍光)、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM(走査型透過電子顕微鏡)と呼ばれる。 TEMでは主にサンプルの内部、SEMでは主にサンプル表面の構造を微細に観察する。.

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開口数

レンズの分野の開口数(かいこうすう、numerical aperture, NA)は、レンズの分解能を求めるための指標である。 開口数の値が大きい方が明るさを取り込めるため、基本的には値が大きい方がいい。 開口数 NA は、物体から対物レンズに入射する光線の光軸に対する最大角度を θ、物体と対物レンズの間の媒質の屈折率を n (レンズの屈折率ではないので注意)として、次の式で表される。 ジョン・ウィリアム・ストラットの理論によると、光学機器の分解能は、対物レンズの開口数と、見ている光の波長で決まる。波長を λ とすれば、2つの点光源の分解能 δ は で表される(本来は係数が0.61ではない場合もあるのだが、代表的数値として通常用いる)。分解能は波長に比例し、開口数に反比例する。 焦点深度 d は である。焦点深度は、波長に比例し、開口数の2乗に反比例する。.

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蛍光

蛍光(けいこう、fluorescence)とは、発光現象の分類。.

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極端紫外線リソグラフィ

極端紫外線リソグラフィ (Extreme ultraviolet lithography、略称:EUVリソグラフィ または EUVL) は、極端紫外線、波長13.5 nmにて露光する次世代リソグラフィ 技術である。.

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天然オリーブオイル 油(あぶら、ゆ、oil)とは動物や植物、鉱物などからとれる水と相分離する疎水性の物質。一般に可燃性であり、比重が小さく、水に浮く。常温で液体のものを油、固体のものを脂と使い分けることがある。高級一価アルコールと高級脂肪酸とのエステルを蝋という。精油(エッセンシャル・オイル)は、脂肪を含まず油脂とは区別される。 用途としては食用、燃料用、産業用などに大別される。.

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望遠鏡

望遠鏡(ぼうえんきょう)とは、遠くにある物体を可視光線・赤外線・X線・電波などの電磁波を捕えて観測する装置である。古くは「遠眼鏡(とおめがね)」とも呼ばれた。 観測に用いられる電磁波の波長により、光学望遠鏡と電波望遠鏡に大別される。電磁波を捕える方式による分類では反射望遠鏡と屈折望遠鏡がある。.

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日本電気

日本電気株式会社(にっぽんでんき、NEC Corporation、略称:NEC(エヌ・イー・シー)、旧英社名 の略)は、東京都港区芝五丁目(元・東京都港区芝三田四国町)に本社を置く住友グループの電機メーカー。 日電(にちでん)と略されることも稀にあるが、一般的には略称の『NEC』が使われ、ロゴマークや関連会社の名前などにも「NEC」が用いられている。 住友電気工業と兄弟会社で、同社及び住友商事とともに住友新御三家の一角であるが、住友の象徴である井桁マークは使用していない。.

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油浸液浸リソグラフィ

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