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拡散ポンプ

索引 拡散ポンプ

拡散ポンプ(かくさんポンプ、diffusion pump)は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーに主に用いられる真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略されることもある。 下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オイル蒸気は、超音速に到達して分子を捕獲し10-3から10-7 Pa(10-5から10-9 Torr)程度の真空まで作り出すことができる。また、コールドトラップ(液体窒素トラップが普通)を併用して使用しチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気速度の向上にもつながる。 拡散オイルは循環させて使用し、使用状況にもよるが半年から数年に一度くらいは交換が必要である。拡散オイルは少なすぎると焦げつくので、注入する量には注意が必要である。ヒ素などの有毒物質を使っている場合、拡散オイルにそれらが溜まっているため、交換後の拡散オイルは産業廃棄物として処理する。 背圧と動作圧力の両方に厳しい圧力制限があり、補助ポンプは必須である。排気側の背圧が高くなり臨界背圧を超えると、真空チャンバー側に拡散オイル蒸気が漏れ出すオイルバックを引き起こす。吸気側も、最大動作圧力を超えないように先にチャンバーを大気圧から粗引きしておく必要がある。 メンテナンスはユーザが行うことができ、能力の割には安価なので広く使われている。頻繁にコールドトラップへの液体窒素補充の必要があるのが難点。.

17 関係: 半導体メンテナンストルパスカルヒ素ガスケットコールドトラップジェット真空真空ポンプ真空計産業廃棄物音速背圧水銀気圧液体窒素

半導体

半導体(はんどうたい、semiconductor)とは、電気伝導性の良い金属などの導体(良導体)と電気抵抗率の大きい絶縁体の中間的な抵抗率をもつ物質を言う(抵抗率だけで半導体を論じるとそれは抵抗器と同じ特性しか持ち合わせない)。代表的なものとしては元素半導体のケイ素(Si)などがある。 電子工学で使用されるICのような半導体素子はこの半導体の性質を利用している。 良導体(通常の金属)、半導体、絶縁体におけるバンドギャップ(禁制帯幅)の模式図。ある種の半導体では比較的容易に電子が伝導帯へと遷移することで電気伝導性を持つ伝導電子が生じる。金属ではエネルギーバンド内に空き準位があり、価電子がすぐ上の空き準位に移って伝導電子となるため、常に電気伝導性を示す。.

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メンテナンス

メンテナンスとは、maintenance(動詞 の名詞形)をカタカナ転写したもので、メインテナンス、メンテナスとも書かれる。また、メンテと略されることもある。 原語には「生計・扶養」「主張」などの意味もあるが、日本語としては専ら「建築・土木構造物や自動車など機械類の整備・維持・保守・点検・手入れ」等の意味で使われる。.

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トル

トル(torr、記号: Torr)は、圧力の単位である。メートル法に基づく単位であるが、SI単位ではない。 トルは日本の計量法体系においては、特殊の計量である「生体内の圧力の計量」に限って使用することができる。正確に Paと定義されている。これは標準大気圧のという意味である。約である。 現在では、日本においては、1トルは水銀柱ミリメートルと完全に同一の定義である。.

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パスカル

パスカル (pascal、記号: Pa) は、圧力・応力の単位で、国際単位系 (SI) における、固有の名称を持つSI組立単位である。「ニュートン毎平方メートル」とも呼ばれる。 1パスカルは、1平方メートル (m2) の面積につき1ニュートン (N) の力が作用する圧力または応力と定義されている。その名前は、圧力に関する「パスカルの原理」に名を残すブレーズ・パスカルに因む。.

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ヒ素

ヒ素(砒素、ヒそ、arsenic、arsenicum)は、原子番号33の元素。元素記号は As。第15族元素(窒素族元素)の一つ。 最も安定で金属光沢があるため金属ヒ素とも呼ばれる「灰色ヒ素」、ニンニク臭があり透明なロウ状の柔らかい「黄色ヒ素」、黒リンと同じ構造を持つ「黒色ヒ素」の3つの同素体が存在する。灰色ヒ素は1気圧下において615 で昇華する。 ファンデルワールス半径や電気陰性度等さまざまな点でリンに似た物理化学的性質を示し、それが生物への毒性の由来になっている。.

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ガスケット

配管用フランジ(継手)に施工したガスケットの模式図 ガスケット(gasket)とは、構造に気密性、液密性を持たせるために用いる固定用シール材である。固定用シール材に対し、運動用シール材をパッキンと呼ぶ。.

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コールドトラップ

ールドトラップあるいは冷却トラップ(れいきゃくトラップ)とは、減圧操作において気体を液体あるいは固体に濃縮する装置である。 エバポレーターなどで減圧する際に、蒸発した気体の有機溶媒や水蒸気が吸引ポンプに達するのを防ぐために用いる。あるいは、オイル等の液体を用いるポンプから気体がサンプルや実験系内に流れ込んで汚染することを防ぐために用いる。 捕捉した気体を冷却し濃縮するために、液体窒素等の入ったデュワー瓶に入れて使用する。このため、液体酸素を発生する危険がある。.

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ジェット

ェット ジェットは、以下のいずれかを指す。対象が多岐に亘るため、いくつかに分類する。.

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真空

真空(しんくう、英語:vacuum)は、物理学の概念で、圧力が大気圧より低い空間状態のこと。意味的には、古典論と量子論で大きく異なる。.

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真空ポンプ

真空ポンプでエアコンの真空引きを行っているところ 真空ポンプ(しんくうポンプ、バキュームポンプ、vacuum pump )とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。1650年にドイツのオットー・フォン・ゲーリケにより発明された。1台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難な為、多くは粗引きポンプやメインポンプなどと組み合わせで使うが、用途によって1台で済む場合は粗引きポンプ、メインポンプなどの呼び分けはしない。.

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真空計

真空計(しんくうけい、vacuum gauge)は、真空のゲージ圧、つまり大気圧以下の圧力(負圧)を測るための圧力計の一種である。 測定方式によって測定できる圧力の範囲がある。使用できる範囲も決められている場合があり、それらを把握して使用する必要がある。1台で大気圧から高真空(0.1Pa未満)を測定できる真空計は存在しない。そのため最近では1個の端子に2種類の真空計を入れて、大気圧から高真空を測定できるようにした複合真空計が市販されている。多くは大気圧から中真空(100 - 0.1Pa)程度まで測定できる真空計とB-Aゲージとの組み合わせとなっている。.

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産業廃棄物

産業廃棄物(さんぎょうはいきぶつ)とは、廃棄物の処理及び清掃に関する法律では、次に掲げる廃棄物をいう(同法第2条第4項)。「産廃」(さんぱい)と略される。.

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音速

緑線はより厳密な式(20.055 (''x'' + 273.15)1/2 )による。なお、331.5に替えて331.3を当てる場合もある。 音速(おんそく、speed of sound)とは、物質(媒質)中を伝わる音の速さのこと。物質自体が振動することで伝わるため、物質の種類により決まる物性値の1種(弾性波伝播速度)である。 速度単位の「マッハ」は、音速の倍数にあたるマッハ数に由来するが、これは気圧や気温に影響される。このため、戦闘機のスペックを表す際などに、標準大気中の音速 1225 km/h が便宜上使われている。なお、英語のsonicは「音の」「音波の」から転じて、音のように速い.

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背圧

背圧(はいあつ、)とは、流れの中の物体下流における圧力である。原動機においては排気側の圧力のことを指す。正常動作できる背圧の最大値を臨界背圧と呼び、排気側の圧力がこれを越えると、吸気側への作動流体の逆流などを起こして大惨事になる。.

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水銀

水銀(すいぎん、mercury、hydrargyrum)は原子番号80の元素。元素記号は Hg。汞(みずがね)とも書く。第12族元素に属す。常温、常圧で凝固しない唯一の金属元素で、銀のような白い光沢を放つことからこの名がついている。 硫化物である辰砂 (HgS) 及び単体である自然水銀 (Hg) として主に産出する。.

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気圧

気圧(きあつ、)とは、気体の圧力のことである。単に「気圧」という場合は、大気圧(たいきあつ、、大気の圧力)のことを指す場合が多い。 気圧は計量単位でもある。日本の計量法では、圧力の法定の単位として定められている(後述)。.

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液体窒素

液体窒素(えきたいちっそ、liquid nitrogen)は、冷却された窒素の液体である。液化窒素とも呼ばれ液化空気の分留により工業的に大量に製造される。純粋な窒素が液相状態になったものである(液体の密度は三重点で0.807 g/mL)。.

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ディフューザポンプ

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