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真空ポンプ

索引 真空ポンプ

真空ポンプでエアコンの真空引きを行っているところ 真空ポンプ(しんくうポンプ、バキュームポンプ、vacuum pump )とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。1650年にドイツのオットー・フォン・ゲーリケにより発明された。1台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難な為、多くは粗引きポンプやメインポンプなどと組み合わせで使うが、用途によって1台で済む場合は粗引きポンプ、メインポンプなどの呼び分けはしない。.

55 関係: 宇野澤組鐵工所島津製作所マクデブルクの半球ハインリッヒ・ガイスラーポンプポンプ座メカニカルブースターポンプヤードラウトレッジリークロバート・ボイルロバート・フックロータリーポンプトルトーマス・セイヴァリトスカーナ大公国ブレーズ・パスカルパスカルドライポンプドニ・パパンドイツダイアフラムポンプアルバックアスピレーターインターネットアーカイブイオンポンプエヴァンジェリスタ・トリチェリオットー・フォン・ゲーリケガリレオ・ガリレイクライオポンプゲッターポンプシリンダージャザリーソープションポンプターボ分子ポンプ真空真空チャンバー真空フランジ真空管真空計真空部品背圧電球集積回路揺動ピストン型ポンプ樫山工業歩留まり水銀気体気圧計...日本ブッシュ日本真空学会日本真空工業会拡散ポンプ1650年 インデックスを展開 (5 もっと) »

宇野澤組鐵工所

株式会社宇野澤組鐵工所(うのざわぐみてっこうしょ)は、東京都大田区下丸子に本社のある真空ポンプメーカー。東証二部上場企業。.

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島津製作所

株式会社島津製作所(しまづせいさくしょ、)は、京都府京都市中京区に本社を置く、精密機器、計測器、医療機器、航空機器の製造をおこなう企業である。.

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マクデブルクの半球

マクデブルクの半球実験 マクデブルクの半球(マクデブルクのはんきゅう、ドイツ語:Magdeburger Halbkugeln)は、17世紀のドイツでオットー・フォン・ゲーリケが行なった、大気圧を示す実験である。 半球は、内側がくぼんだ2つの金属製の半球だった。縦に2つに割ったメロンをイメージすると分かりやすい。この2つの半球はすきまなく接合するように作られた。この2つを合わせ、ゲーリケ自らが発明した真空ポンプで中の空気を抜いた。間には濡らした動物の皮をパッキンとして使用した。こうすると半球はぴったりくっつき、どんなに引っ張っても外れなかった。これは、半球の外側の大気圧によるものである。 ゲーリケはこの実験を公開実験で行った。最初のものは1654年5月8日、レーゲンスブルクの帝国議事堂前において、神聖ローマ皇帝フェルディナント3世の御前で行われた。このとき、16頭の馬(両側から2頭立ての馬が各4対)が双方から引っ張り、やっと半球は外れた。この実験により、デカルトが否定した真空の存在を証明した。 「マクデブルクの半球」の呼び名は、当時ゲーリケがマクデブルク市長であったことに由来する。 1970年代にNHKの『ハテナゲーム』で再現された。.

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ハインリッヒ・ガイスラー

ハインリッヒ・ガイスラー ハインリッヒ・ガイスラー(Johann Heinrich Wilhelm Geißler, 1814年5月26日 - 1879年1月24日)はドイツの物理学者。真空放電管であるガイスラー管の発明者である。 ドイツテューリンゲン州のイーゲルシープ (Igelshieb) に生まれ、父親から機械技術とガラス細工の技術を受け継いだ。1850年にボンに住み、1852年に物理や化学用機器の製造所を開いた。1855年にはパリ万国博覧会に出品し、金賞を受賞した。温度計や圧力計などが高い評価を得て、ボン大学から多くの注文を受けた。物理学者のユリウス・プリュカーとともに、1852年に温度計測に関する論文を発表した。ガラス製の温度計やガイスラー管や、水銀を使う真空ポンプの発明を行った。1868年、ボン大学から名誉学位を取得し、没するまでボン大学で教えた。.

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ポンプ

井戸ポンプ(手押しポンプ) ポンプ(pomp)は圧力の作用によって液体や気体を吸い上げたり送ったりするための機械 特許庁。機械的なエネルギーで圧力差を発生させ液体や気体の運動エネルギーに変換させる流体機械である。喞筒(そくとう)ともいう。 動物の心臓も一種のポンプである。また、機械的なポンプのようにエネルギーの蓄積や移送を行う目的の仕組みに「ポンプ」の語を当てることがある(ヒートポンプなど)。 動作原理により、非容積型、容積型、特殊型に分類される。.

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ポンプ座

ポンプ座 (Antlia) は、南天の星座の1つ。フランスの天文学者ニコラ・ルイ・ド・ラカーユによって1756年に設定された。他の新しい星座と同じく、明るい星がなく目立たない。.

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メカニカルブースターポンプ

メカニカルブースターポンプは一般的には長円形の金属製ケーシング中で、繭型の一対のローターを互いに90度の角度で高速で回転させるタイプのポンプである。 大気中で使われるルーツブロア型送風機と同じ構造であるが、この場合ローターはかなりの高速で回転しないといけないこと、また排気抵抗を減らす為高精度な加工が施されている。インバータなどによって回転数を変えると、排気速度の変更が容易なため圧力コントローラーのような使われ方もするし、接ガス部にオイルを使わない事も容易なためオイル汚染を嫌う半導体製造装置に多用される。 一般的にはドライポンプに分類されている。単体では大気圧から粗引きは出来ないため粗引きポンプを必要とする。 めかにかるふすたほんふ.

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ヤード

ヤード (yard) は、ヤード・ポンド法における長さの単位。主要国ではイギリスとアメリカ合衆国で用いられているほか、ゴルフやアメリカンフットボールなど特定のスポーツで用いられている単位である。 後述のように身体尺を起源とする単位ともいわれており基準は不安定であった。しかし、現在では国際単位系のメートルを基準として、1 ヤードは正確に 0.9144 m と定義されている。1 ヤードは 3 国際フィート に等しい。1 国際フィートは 12 インチであるので、1 ヤードは 36 インチになる。1 国際マイルは 1760 ヤードである。 ヤード・ポンド法という名前に使われている通り、ヤードはこの単位系における長さの基本単位であり、その他の単位はヤードの分量・倍量単位となっている。しかし、実際にはフィートを元にして組み立てられた単位が多い。ヤード・ポンド法に時間の単位秒を加えた単位系は、foot, pound, second の頭文字をとってFPS単位系と呼ばれている。.

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ラウトレッジ

ラウトレッジ (Routledge) は、人文科学・社会科学分野の学術書、ジャーナル、オンライン文献を扱うイギリスの大手出版社である。現在はテイラーアンドフランシスグループのインプリントとなっている。.

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リーク

リークとは、.

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ロバート・ボイル

バート・ボイル(Sir Robert Boyle、1627年1月25日 - 1691年12月31日)は、アイルランド・出身の貴族、自然哲学者、化学者、物理学者、発明家。神学に関する著書もある。ロンドン王立協会フェロー。ボイルの法則で知られている。彼の研究は錬金術の伝統を根幹としているが、近代化学の祖とされることが多い。特に著書『懐疑的化学者』 (The Sceptical Chymist) は化学という分野の基礎を築いたとされている。.

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ロバート・フック

バート・フック(Robert Hooke、1635年7月28日 - 1703年3月3日)は、イギリスの自然哲学者、建築家、博物学者。王立協会フェロー。実験と理論の両面を通じて科学革命で重要な役割を演じた。.

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ロータリーポンプ

ータリーポンプ (rotary pump) は油回転真空ポンプとも呼ばれ、回転する内部の羽が気体をかき出すように排気する、真空ポンプの一種である。RPと略されることもある。 最も一般的な真空ポンプであり、種類も多く価格も全体的に安価(10万円~30万円程度)である。また、大気圧から作動させられるため超高真空が必要な際の初期粗引きや、背圧を維持するための補助ポンプ(バックポンプ)として使われる他、広く産業用に用いられている。多くは電気モーターを動力源とするが、エアタービンなどが使用される場合もある。到達真空度は 10-1 Pa (10-3 Torr) 程度。 油は密閉のために用いられているが、この油が蒸発して真空容器側に還流することは、容器内の機器類にとって好ましくない。このため、ポンプ油還流を嫌う装置に接続する場合はフォアライントラップ(フィルタ)をポンプと真空容器の間に挿入される場合が多い。また排気にもオイルの蒸気が含まれるので、排気口にもオイルミストトラップが必要である(これなしで長期間運転すると周囲がオイルでベトベトになる)。最近ではオイルを使用しないタイプのポンプも開発されている。使用するにつれ、また、凝縮性の高い蒸気を吸入するとこれが油に混入して性能低下をもたらすので、定期的なオイル交換が必要である。.

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トル

トル(torr、記号: Torr)は、圧力の単位である。メートル法に基づく単位であるが、SI単位ではない。 トルは日本の計量法体系においては、特殊の計量である「生体内の圧力の計量」に限って使用することができる。正確に Paと定義されている。これは標準大気圧のという意味である。約である。 現在では、日本においては、1トルは水銀柱ミリメートルと完全に同一の定義である。.

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トーマス・セイヴァリ

トーマス・セイヴァリ(Thomas Savery、1650年頃-1715年;正しくはトマス・セイヴァリ)は、イギリスの発明家、技術者、軍人。商業的に使用された最初の蒸気機関を発明したことで知られている。.

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トスカーナ大公国

トスカーナ大公国(トスカーナたいこうこく、Granducato di Toscana、Großherzogtum Toskana)は、16世紀から19世紀にかけて北イタリアに存在した国家。領域はほぼ現在のトスカーナ州にあたり、同州の前身となった。.

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ブレーズ・パスカル

ブレーズ・パスカル(Blaise Pascal、1623年6月19日 - 1662年8月19日)は、フランスの哲学者、自然哲学者、物理学者、思想家、数学者、キリスト教神学者である。 早熟の天才で、その才能は多分野に及んだ。ただし、短命であり、三十代で逝去している。死後『パンセ』として出版されることになる遺稿を自身の目標としていた書物にまとめることもかなわなかった。 「人間は考える葦である」などの多数の名文句やパスカルの賭けなどの多数の有名な思弁がある遺稿集『パンセ』は有名である。その他、パスカルの三角形、パスカルの原理、パスカルの定理などの発見で知られる。ポール・ロワヤル学派に属し、ジャンセニスムを代表する著作家の一人でもある。 かつてフランスで発行されていた500フラン紙幣に肖像が使用されていた。.

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パスカル

パスカル (pascal、記号: Pa) は、圧力・応力の単位で、国際単位系 (SI) における、固有の名称を持つSI組立単位である。「ニュートン毎平方メートル」とも呼ばれる。 1パスカルは、1平方メートル (m2) の面積につき1ニュートン (N) の力が作用する圧力または応力と定義されている。その名前は、圧力に関する「パスカルの原理」に名を残すブレーズ・パスカルに因む。.

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ドライポンプ

ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。内部の機構全てがオイルフリーなわけではない。半導体製造など、油汚染を嫌う場合に多く使われる。 真空ポンプの分類として、ウエットポンプに対比する用語。.

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ドニ・パパン

ドゥニー・パパン(Denis Papin、1647年8月22日 - 1712年頃)はフランスの物理学者、発明家である。圧力調理器(「スティーム・ダイジェスタ」)の発明者、蒸気機関の原理の開発者として知られている。 ロンドン王立協会フェロー にもなった。.

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ドイツ

ドイツ連邦共和国(ドイツれんぽうきょうわこく、Bundesrepublik Deutschland)、通称ドイツ(Deutschland)は、ヨーロッパ中西部に位置する連邦制共和国である。もともと「ドイツ連邦共和国」という国は西欧に分類されているが、東ドイツ(ドイツ民主共和国)の民主化と東西ドイツの統一により、「中欧」または「中西欧」として再び分類されるようになっている。.

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ダイアフラムポンプ

ダイアフラムポンプの概略図 ダイアフラムポンプ(diaphragm pump)は、容積移送式ポンプの一種であり、ゴム、熱可塑性樹脂あるいはテフロン製ダイアフラムの往復運動と適当な逆止弁を組み合わせて流体を移送する。膜ポンプ (membrane pump) とも呼ばれる。.

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アルバック

株式会社アルバックは、神奈川県茅ヶ崎市に本社を置く、主に産業・研究機関向け真空装置を製造する企業である。東京証券取引所一部上場。.

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アスピレーター

アスピレーター(英語:aspirator)、流体を利用してベンチュリ効果によって減圧状態を作り出すための器具。 流体として水を利用し、化学や生物学の実験などで手軽に減圧状態を得るために使われるものを指すことが多い。同様の原理で流体に水蒸気や空気を利用するものは一般にエジェクター (ejector) と呼ばれ、主に工業用途に使われる。.

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インターネットアーカイブ

旧インターネットアーカイブ本部(1996年 - 2009年11月) インターネットアーカイブ (The Internet Archive) は、WWW・マルチメディア資料のアーカイブ閲覧サービスとして有名なウェイバックマシン (Wayback Machine)を運営している団体である。本部はカリフォルニア州サンフランシスコのリッチモンド地区に置かれている。 アーカイブにはプログラムが自動で、または利用者が手動で収集したウェブページのコピー(ウェブアーカイブ)が混在しており、これは「WWWのスナップショット」と呼ばれる。ほか、ソフトウェア・映画・本・録音データ(音楽バンドなどの許可によるライブ公演の録音も含む)などがある。アーカイブは、それらの資料を無償で提供している。.

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イオンポンプ

イオンポンプ (ion pump) は、チタンのゲッター作用により排気する真空ポンプである。スパッタイオンポンプ (sputter ion pump) とも。.

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エヴァンジェリスタ・トリチェリ

ヴァンジェリスタ・トリチェリ(Evangelista Torricelli、グレゴリオ暦1608年10月15日 - グレゴリオ暦1647年10月25日)は、イタリアの物理学者。ガリレオ・ガリレイの弟子。 ファエンツァに生まれ、ローマに出て最初は数学者ベネデット・カステリの秘書をした。1641年からはガリレイの弟子となり、ガリレイの死まで研究をともにした。その後はトスカーナ大公フェルディナンド2世に数学者・哲学者として招かれて、ピサ大学の数学の教授に任命された。1647年、腸チフスのため39歳の若さで没した。.

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オットー・フォン・ゲーリケ

ットー・フォン・ゲーリケ(Otto von Guericke、元の綴りはGericke。ユリウス暦1602年11月20日 - 1686年5月11日、グレゴリオ暦1602年11月30日 - 1686年5月21日)は、ドイツの科学者、発明家、政治家。特に真空の研究で知られている。.

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ガリレオ・ガリレイ

リレオ・ガリレイ(Galileo Galilei、ユリウス暦1564年2月15日 - グレゴリオ暦1642年1月8日)は、イタリアの物理学者、天文学者、哲学者。 パドヴァ大学教授。その業績から天文学の父と称され、ロジャー・ベーコンとともに科学的手法の開拓者の一人としても知られている。1973年から1983年まで発行されていた2000イタリア・リレ(リラの複数形)紙幣にガリレオの肖像が採用されていた。.

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クライオポンプ

ライオポンプは、真空ポンプの一つ。気体分子を極低温面に凝縮させて捕捉する、気体ため込み式真空ポンプである。ここでは、ソープションポンプの機能を付加したクライオソープションポンプについても言及する。.

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ゲッターポンプ

ッターポンプ (Getter Pump) は、チタンのゲッター作用により排気する真空ポンプである。サブリメーションポンプ (Sublimation Pump) とも呼ばれる。.

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シリンダー

リンダー (Cylinder) とは、英語で「円筒」を意味する単語である。 “シリンダー”と呼称されるものにはいくつかの種類があるが、本項では主にレシプロエンジンの構成部品の一つについて既述する。.

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ジャザリー

アル=ジャザリー(、بديع الزمان أبو العزّ بن إسماعيل الرزّاز الجزري)、全名 Badī' al-Zamān Abū al-'Izz Ibn Ismā'īl ibn al-Razzāz al-Jazarī(1136年 - 1206年)は、現在のトルコのディヤルバクル出身のアラブ人博学者であり、ウラマー、発明家、機械工学者、職人、芸術家、数学者、天文学者である。特に1206年の著書 ‏كتاب في معرفة الحيل الهندسية Kitāb fī Ma'rifat al-Ḥiyal al-Handasiyya(『巧妙な機械装置に関する知識の書』)でよく知られており、その中で50の機械装置の詳細とその組み立て方を解説している。.

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ソープションポンプ

ープションポンプ (Sorption Pump) は真空ポンプの一種で、多孔質の吸着剤を液体窒素で冷却し、気体分子を物理吸着させて排気するものである。吸着剤としてはモレキュラーシーブ(人工ゼオライト)や活性炭などが用いられる。機械的な動作部分が無いため、油蒸気などはよく除去できるが、物理吸着を利用するため、水素分子、ヘリウム、ネオンなどはほとんど除去することができない。そのため、先に別のポンプで排気した後にソープションポンプを用いないと、これら希ガス類などが残ってしまい、期待されるほどの真空は得られない。 また、吸着剤に吸着した気体分子は、未使用時に常温に戻して放出してやらねばならない。この際、水分子は特に強く吸着されているため、400 K 程度の加熱が必要である。この加熱の際には大量の気体分子がソープションポンプから放出されるので、排気経路の確保が重要であり、密閉したままの加熱は非常に危険である。.

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ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプ(ターボぶんしポンプ、英語:turbomolecular pump、略称:TMP)は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプである。JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。 ターボ分子ポンプは、1912年にドイツのW.ゲーデによって機械式高真空ポンプの起源となる分子ポンプが考案され、その後、同じくドイツのW.ベッカーが1955年にタービン翼を有するターボ分子ポンプ(TMP)を考案、これが1958年に商品化されたのが最初といわれる。 動作原理は、斜めに配置されたタービン翼を高速回転(数万rpmに達する)させて吸気から排気への通過確率(A)と排気から吸気への通過確率(B)に差をつける事で圧力差を発生させる。設計上の排気速度は(開口面積×11.6×A/(B×p))となる(pは圧力上昇分)。翼の角度と回転数(翼速度)をモンテカルロ法などで計算すると、翼角度大=排気速度大、圧縮比小。翼角度小=排気速度小、圧縮比大となってくる。到達圧力は 10-7Pa (10-10Torr)程度。 その原理から、気体分子に対する翼速度(翼速度比)によって排気速度が変化するため軽ガス(水素・ヘリウム)に対しては排気速度が低下する。動作圧力には制限があるため、普通はロータリーポンプを補助ポンプとして用い、1セットになっている。ポンプ使用中に圧力が高真空から低真空側へ急激に変化した場合、ポンプの破損に繋がる可能性がある。 TMPは良い真空が得られる手軽で便利なポンプである。ロータの支持方式としては、油潤滑式の玉軸受型とグリス潤滑式、磁気浮上型がある。 玉軸受けの油潤滑式は価格が手ごろな利点があるが、取り付け方向は一方向に限られる。グリス潤滑式は取り付け方向に制限が無い場合が多いが、玉軸受け寿命・グリス補給と保守面で課題も多い。 磁気浮上型は.

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真空

真空(しんくう、英語:vacuum)は、物理学の概念で、圧力が大気圧より低い空間状態のこと。意味的には、古典論と量子論で大きく異なる。.

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真空チャンバー

真空チャンバー(しんくうチャンバー)は、内部を真空にするための容器である。真空チャンバーは真空装置の中心部品であり、真空装置の仕様によりその形状や材質が決められる。 使用される材質は主に真空用材料から選定される。.

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真空フランジ

真空フランジ(しんくうフランジ)は、真空装置で真空チャンバーと真空ポンプや真空部品を接続するためのシール機能を持った接合するための真空部品である。材質は主に真空用材料から選定される。.

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真空管

5球スーパーラジオに使われる代表的な真空管(mT管) 左から6BE6、6BA6、6AV6、6AR5、5MK9 ここでは真空管(しんくうかん、vacuum tube、vacuum valve)電子管あるいは熱電子管などと呼ばれるものについて解説する。.

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真空計

真空計(しんくうけい、vacuum gauge)は、真空のゲージ圧、つまり大気圧以下の圧力(負圧)を測るための圧力計の一種である。 測定方式によって測定できる圧力の範囲がある。使用できる範囲も決められている場合があり、それらを把握して使用する必要がある。1台で大気圧から高真空(0.1Pa未満)を測定できる真空計は存在しない。そのため最近では1個の端子に2種類の真空計を入れて、大気圧から高真空を測定できるようにした複合真空計が市販されている。多くは大気圧から中真空(100 - 0.1Pa)程度まで測定できる真空計とB-Aゲージとの組み合わせとなっている。.

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真空部品

真空部品(しんくうぶひん)は、真空装置等を構成するために真空中、もしくは一部が真空に面して機能する部品の総称である。真空部品は大半が他の分野にも同様の機能の機器が存在するが、特性上真空向け専門に作られる部品である。但し、真空ポンプ、真空計はそれぞれ独立して分類されるため真空部品には含まれない。.

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背圧

背圧(はいあつ、)とは、流れの中の物体下流における圧力である。原動機においては排気側の圧力のことを指す。正常動作できる背圧の最大値を臨界背圧と呼び、排気側の圧力がこれを越えると、吸気側への作動流体の逆流などを起こして大惨事になる。.

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電球

電球(でんきゅう、)は、フィラメント、放電素子などの発光素子をガラスの球殻に封入した、電気による光源である。 フィラメントをガラスの球殻に封入するのは、おもに空気から隔離するためである。酸素を排除して素子の燃焼を避けたり、アーク放電のためのガスを保ったりする。内部は空気を排除し低圧になるため、大気圧に耐える必要性がある事から、物理的に球形が選ばれる。製造上の都合から、口金のために一端が伸びた球形をしているものが多いが、長球形、円筒形、円錐形など、さまざまな形のものがある。球形でなくても、区別せず電球と呼ばれる。 白熱電球に代表され、蛍光灯と対比して語られることが多い。蛍光灯は、通常は電球に含めないが、ガラスが球形の代わりに管形である以外は、電球と共通点が多く、英語圏では通常、に含められる()他、日本電球工業会は蛍光灯も扱っている。 1990年代に、より効率の良い「LED電球」が発明されてから、古くから使われてきた白熱電球は、LED電球に置き換えらつつある。.

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集積回路

SOPパッケージに封入された標準ロジックICの例 集積回路(しゅうせきかいろ、integrated circuit, IC)は、主としてシリコン単結晶などによる「半導体チップ」の表面および内部に、不純物の拡散による半導体トランジスタとして動作する構造や、アルミ蒸着とエッチングによる配線などで、複雑な機能を果たす電子回路の多数の素子が作り込まれている電子部品である。多くの場合、複数の端子を持つ比較的小型のパッケージに封入され、内部で端子からチップに配線されモールドされた状態で、部品・製品となっている。.

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揺動ピストン型ポンプ

揺動ピストン型真空ポンプ(ようどうピストンがたしんくうポンプ)は真空ポンプの一種であり、油回転ポンプより堅牢、かつ排気量も大きなものが多い。 しかし回転ポンプに比べ振動が大きく、油回転ポンプでは難しい, 大きな排気量を必要とする用途にのみ使われる。 大型のものでは冷却水を必要とする場合もある。 到達圧力は1Pa程度である。 オイルを使わないタイプの揺動ピストン型も市販されており、 こちらのほうは小型のものが市販されているが、到達圧力は103Pa台であるため アスピレータや真空チャックなどの低真空領域で使われる。 Category:ポンプ.

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樫山工業

樫山工業株式会社(かしやまこうぎょう)は、本社を長野県佐久市に置くスキー・真空機器メーカー。.

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歩留まり

歩留まりあるいは歩止まり(ぶどまり)とは、製造など生産全般において、「原料(素材)の投入量から期待される生産量に対して、実際に得られた製品生産数(量)比率」のことである。 また、歩留まり率(ぶどまりりつ)は、歩留まりの具体的比率を意味し、生産性や効率性の優劣を量るひとつの目安となる。例えば、半導体製品では、生産した製品の全数量の中に占める、所定の性能を発揮する「良品」の比率を示す。歩留まりが高いほど原料の質が高く、かつ製造ラインとしては優秀と言える。 英語の (イールド・レート)は、日本語の「歩留まり」および「歩留まり率」とおおよそ同義。.

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水銀

水銀(すいぎん、mercury、hydrargyrum)は原子番号80の元素。元素記号は Hg。汞(みずがね)とも書く。第12族元素に属す。常温、常圧で凝固しない唯一の金属元素で、銀のような白い光沢を放つことからこの名がついている。 硫化物である辰砂 (HgS) 及び単体である自然水銀 (Hg) として主に産出する。.

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気体

気体(きたい、gas)とは、物質の状態のひとつであり岩波書店『広辞苑』 第6版 「気体」、一定の形と体積を持たず、自由に流動し圧力の増減で体積が容易に変化する状態のこと。 「ガス体」とも。.

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気圧計

気圧計(きあつけい、barometer)とは、大気の圧力を測定する器具のことである。気圧は天候の変化に対応する重要な測定項目として、ほとんど全ての気象観測点で観測が行われており、用途に応じた様々な種類の気圧計が用いられている。 レーザー干渉計・航空機・GPSなどでは、大気の圧力に伴う、密度や屈折率等の変化を原因とする誤差を補正するため、それぞれの目的に応じた気圧計が用いられる。地上からの高度と気圧の間には一定の関係があるため、多くの高度計は気圧計と同じ構造のものがある。.

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日本ブッシュ

日本ブッシュ株式会社(ニッポンブッシュ)は、神奈川県平塚市に本社を置く真空ポンプ、真空システムの販売会社。世界42カ国に現地法人を持つブッシュグループの、日本法人。.

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日本真空学会

日本真空学会(にほんしんくうがっかい、The Vacuum Society of Japan)は、真空技術及びその応用分野の発展、向上を計ることを目的として1958年に設立された団体である。個人会員(大学等に所属する研究者など)と法人会員(メーカー等)の双方で構成される。.

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日本真空工業会

日本真空工業会(にほんしんくうこうぎょうかい、Japan Vacuum Industry Association)は、真空産業関連企業の集まる業界団体。略称JVIA。.

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拡散ポンプ

拡散ポンプ(かくさんポンプ、diffusion pump)は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーに主に用いられる真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略されることもある。 下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オイル蒸気は、超音速に到達して分子を捕獲し10-3から10-7 Pa(10-5から10-9 Torr)程度の真空まで作り出すことができる。また、コールドトラップ(液体窒素トラップが普通)を併用して使用しチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気速度の向上にもつながる。 拡散オイルは循環させて使用し、使用状況にもよるが半年から数年に一度くらいは交換が必要である。拡散オイルは少なすぎると焦げつくので、注入する量には注意が必要である。ヒ素などの有毒物質を使っている場合、拡散オイルにそれらが溜まっているため、交換後の拡散オイルは産業廃棄物として処理する。 背圧と動作圧力の両方に厳しい圧力制限があり、補助ポンプは必須である。排気側の背圧が高くなり臨界背圧を超えると、真空チャンバー側に拡散オイル蒸気が漏れ出すオイルバックを引き起こす。吸気側も、最大動作圧力を超えないように先にチャンバーを大気圧から粗引きしておく必要がある。 メンテナンスはユーザが行うことができ、能力の割には安価なので広く使われている。頻繁にコールドトラップへの液体窒素補充の必要があるのが難点。.

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1650年

記載なし。

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バキュームポンプ

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