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物理気相成長

索引 物理気相成長

物理気相成長(ぶつりきそうせいちょう)または物理蒸着(英語:physical vapor deposition、略称:PVD)は、物質の表面に薄膜を形成する蒸着法のひとつで、気相中で物質の表面に物理的手法により目的とする物質の薄膜を堆積する方法である。切削工具や各種金型への表面処理や、半導体素子の製造工程に於て一般的に使用される。.

16 関係: 半導体素子化学気相成長チタンダイヤモンドライクカーボン分子線エピタキシー法切削工具めっきイオンプレーティングエリコンバルザーススパッタリング真空炭化チタン炭化タングステン表面処理蒸着英語

半導体素子

ここでは半導体素子(はんどうたいそし)や半導体部品(-ぶひん)(英:semiconductor device) セミコンダクター・デバイスについて解説する。.

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化学気相成長

化学気相成長(かがくきそうせいちょう)、化学気相蒸着(かがくきそうじょうちゃく)または化学蒸着(CVD: chemical vapor deposition)は、さまざまな物質の薄膜を形成する蒸着法のひとつで、石英などで出来た反応管内で加熱した基板物質上に、目的とする薄膜の成分を含む原料ガスを供給し、基板表面あるいは気相での化学反応により膜を堆積する方法である。常圧(大気圧)や加圧した状態での運転が可能な他、化学反応を活性化させる目的で、反応管内を減圧しプラズマなどを発生させる場合もある。切削工具の表面処理や半導体素子の製造工程において一般的に使用される。.

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チタン

二酸化チタン粉末(最も広く使用されているチタン化合物) チタン製指輪 (酸化皮膜技術で色彩を制御) チタン(Titan 、titanium 、titanium)は、原子番号22の元素。元素記号は Ti。第4族元素(チタン族元素)の一つで、金属光沢を持つ遷移元素である。 地球を構成する地殻の成分として9番目に多い元素(金属としてはアルミニウム、鉄、マグネシウムに次ぐ4番目)で、遷移元素としては鉄に次ぐ。普通に見られる造岩鉱物であるルチルやチタン鉄鉱といった鉱物の主成分である。自然界の存在は豊富であるが、さほど高くない集積度や製錬の難しさから、金属として広く用いられる様になったのは比較的最近(1950年代)である。 チタンの性質は化学的・物理的にジルコニウムに近い。酸化物である酸化チタン(IV)は非常に安定な化合物で、白色顔料として利用され、また光触媒としての性質を持つ。この性質が金属チタンの貴金属に匹敵する耐食性や安定性をもたらしている。(水溶液中の実際的安定順位は、ロジウム、ニオブ、タンタル、金、イリジウム、白金に次ぐ7番目。銀、銅より優れる) 貴金属が元素番号第5周期以降に所属する重金属である一方でチタンのみが第4周期に属する軽い金属である(鋼鉄の半分)。.

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ダイヤモンドライクカーボン

ダイヤモンドライクカーボン は、主として炭化水素、あるいは、炭素の同素体から成る非晶質(アモルファス)の硬質膜である。硬質炭素膜とほぼ同義。DLCと略す。 水素含有量の多少と、含まれる結晶質の電子軌道がダイヤモンド寄りかグラファイト寄りかによって、その性質を区別する。.

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分子線エピタキシー法

分子線エピタキシー法(ぶんしせんエピタキシーほう、 MBE; Molecular Beam Epitaxy)は現在、半導体の結晶成長に使われている手法の一つである。真空蒸着法に分類され、物理吸着を利用する。 高真空のために、原料供給機構より放たれた分子が他の気体分子にぶつかることなく直進し、ビーム状の分子線となるのが名称の由来である。.

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切削工具

切削工具(せっさくこうぐ、)は、工作機械とともに切削加工に用いられる工具。 金属などの加工法のうち、その一部を取り去ることを手段とするものに、切削と研削がある。前者は工具を押し付け表面を剥ぎ取るようにして削る方法であり、後者は砥石を使って表面を削る方法である。この切削加工に用いる工具を切削工具と言う。.

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めっき

めっき(鍍、英語:Plating)は、表面処理の一種で、材料の表面に金属の薄膜を被覆すること、あるいはその方法を指す。狭義には液中でおこなう方法のみを言う。なお、各メディアや書籍において「メッキ」と片仮名で表記されることも少なくないため、外来語のように受け取られることもあるが、和製漢語とされる「滅金(めっきん)」に由来する語である。鍍金(ときん)ともいう。.

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イオンプレーティング

イオンプレーティング(英:Ion Plating)とは、イオン化した金属を被加工物に蒸着させる表面処理のこと。.

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エリコンバルザース

リコンバルザース(OC Oerlikon Balzers AG)は、リヒテンシュタイン公国バルザースに本社を置く、薄膜コーティング装置の製造および、コーティング受託加工行っている企業。 親会社OCエリコン・ホールディング (OC Oerlikon Holding AG) はスイス証券取引所 (SWX) に上場している。.

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スパッタリング

パッタリング(Sputter deposition)は、.

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真空

真空(しんくう、英語:vacuum)は、物理学の概念で、圧力が大気圧より低い空間状態のこと。意味的には、古典論と量子論で大きく異なる。.

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炭化チタン

炭化チタン(たんかチタン、titanium carbide)は、組成式 TiC、式量 59.89 のチタンの炭化物。融点は 3170 、密度は 4.9 - 5.2 g/cm3、ビッカース硬さは 2900 kg/mm2。CAS登録番号は。 炭化チタンとモリブデンを加えてつくった合金は切削工具などに用いられる。また、サーメットの材料として、炭化タングステンの表面に皮膜として使用される。ただし、衝撃と急熱急冷に弱い。.

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炭化タングステン

炭化タングステン(英語:Tungsten carbide、化学式:WC)とは等モル量のタングステン原子と炭素原子からなる無機化合物(炭化物)である。英語名に基づき、タングステンカーバイドとも呼ばれる。ヤング率は約550 GPaに達し、鋼の約2倍の剛性を持ち、鋼やチタンよりはるかに緻密な構造を呈する。基本的な性状は粉状で灰色のα-酸化アルミニウム(コランダム・サファイア・ルビー)に匹敵する硬さを持つが、産業機械等で使用するため微粉末化の後、粉末冶金法を用いコバルト等のバインダーとともに所定の形状に高圧で押し固めたものを焼き固めて用いる(超硬合金)。超硬合金化した炭化タングステンの研磨加工には窒化ホウ素(高圧相)やダイヤモンドが用いられる。.

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表面処理

表面処理(ひょうめんしょり、surface treatment、surface finishing)は、機械工学等の分野においては、めっきや塗装など、素材表面の性質を高めるために行われる機械工作法の一種である。硬さや耐摩耗性、潤滑性、耐食性、耐酸化性、耐熱性、断熱性、絶縁性、密着性、および、装飾性や美観など、これらの性質のいくつかを向上させることを主要な目的として施される。 材料技術 (''cf.'') の一分野であり、合金設計を頂点としその傘下の加工、熱処理、溶接、鋳造などの材料プロセス技術群に属するが、補助的技術群のひとつである。しかし熱処理や研磨技術と同様に、金属母材の性能を極限までに高める重要な技術であるにもかかわらず、性能理論が確定しておらず、その存在が極端な過小評価に陥る場合がある。.

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蒸着

蒸着(じょうちゃく、英語:vapor deposition)とは、金属や酸化物などを蒸発させて、素材の表面に付着させる表面処理あるいは薄膜を形成する方法の一種。蒸着は、物理蒸着(PVD)と化学蒸着(CVD)に大別される。ここでは主にPVDの一種である真空蒸着を解説する。.

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英語

アメリカ英語とイギリス英語は特徴がある 英語(えいご、)は、イ・ヨーロッパ語族のゲルマン語派に属し、イギリス・イングランド地方を発祥とする言語である。.

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