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エネルギー分散型X線分析

索引 エネルギー分散型X線分析

ネルギー分散型X線分析 (Energy dispersive X-ray spectrometry、EDX、EDS) は、広義の意味として、電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線(蛍光X線)を半導体検出器に導入し、発生した電子-正孔対のエネルギーと個数から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である。 一般的に、電子線を一次線として用いた場合を指すことが多く、X線を一次線として用いる場合をエネルギー分散型蛍光X線分析 (ED-XRF) として呼ぶ。ちなみに、一次線が荷電粒子の場合は、粒子線励起X線分析法 (PIXE: Particle Induced X-ray Emission) と呼ぶ。.

25 関係: 半導体検出器堀場製作所島津製作所リガクフィリップスホウ素ベリリウムウランオリンパスオックスフォード・インストゥルメンツシリコンドリフト検出器セイコーインスツルサーモフィッシャー・サイエンティフィック元素分析粒子線励起X線分析特性X線Elvatech走査型電子顕微鏡蛍光X線電子線マイクロアナライザ透過型電子顕微鏡PANalytical波長分散型X線分析日立ハイテクノロジーズ日本電子

半導体検出器

半導体検出器(はんどうたいけんしゅつき, semiconductor detector)とは、半導体を利用した放射線検出器を言う。 半導体検出器は、時間応答性が比較的早くエネルギー分解能が優れていることから主にエネルギー分析に用いられる。半導体としては、シリコンまたはゲルマニウムが主に用いられる。.

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堀場製作所

株式会社堀場製作所(ほりばせいさくしょ 英名:HORIBA, Ltd.)は、京都府京都市南区に本社を置く独立系の分析・計測機器大手。設立以来、分析・計測機器の総合メーカーとして、多彩な製品を世界各国に送りだしてきた。その分野は、自動車や半導体産業をはじめ新素材、エネルギー、鉄鋼、食品、バイオ、化学等々多岐にわたる。最近では、地球温暖化ガス分析装置や酸性雨測定装置など、環境保全に貢献する製品も、多数活躍している。 M&Aを積極的に行い企業価値向上に努めている。社是は「おもしろおかしく」。エンジン排ガス測定・分析装置分野で80%の世界トップシェアを握る。 2002年(平成14年)まで日立製作所が第一位の大株主であった為、日立製作所の関係が強く販路や社内習慣に影響がある。.

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島津製作所

株式会社島津製作所(しまづせいさくしょ、)は、京都府京都市中京区に本社を置く、精密機器、計測器、医療機器、航空機器の製造をおこなう企業である。.

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リガク

株式会社リガク()は、X線回折(XRD)や蛍光X線(XRF)、熱分析、分光分析などの装置を製造を行う企業である。.

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フィリップス

ーニンクレッカ フィリップス(Koninklijke Philips N.V. 、英文正式表記:Royal Philips 、, )は、ヘルスケア製品・医療関連機器を中心とする電気機器関連機器メーカーで、オランダのアムステルダムに本拠を置く多国籍企業である。 日本法人である株式会社フィリップス・ ジャパンは、東京都港区港南に所在。(日本法人については、2017年10月に株式会社フィリップスエレクトロニクスジャパンから株式会社フィリップス・ジャパンに社名を変更した。).

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ホウ素

ホウ素(ホウそ、硼素、boron、borium)は、原子番号 5、原子量 10.81、元素記号 B で表される元素である。高融点かつ高沸点な硬くて脆い固体であり、金属元素と非金属元素の中間の性質を示す(半金属)。1808年にゲイ.

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ベリリウム

ベリリウム(beryllium, beryllium )は原子番号 4 の元素である。元素記号は Be。第2族元素に属し、原子量は 9.01218。ベリリウムは緑柱石などの鉱物から産出される。緑柱石は不純物に由来する色の違いによってアクアマリンやエメラルドなどと呼ばれ、宝石としても用いられる。常温常圧で安定した結晶構造は六方最密充填構造(HCP)である。単体は銀白色の金属で、空気中では表面に酸化被膜が生成され安定に存在できる。モース硬度は6から7を示し、硬く、常温では脆いが、高温になると展延性が増す。酸にもアルカリにも溶解する。ベリリウムの安定同位体は恒星の元素合成においては生成されず、宇宙線による核破砕によって炭素や窒素などのより重い元素から生成される。 ベリリウムは主に合金の硬化剤として利用され、その代表的なものにベリリウム銅合金がある。また、非常に強い曲げ強さ、熱的安定性および熱伝導率の高さ、金属としては比較的低い密度などの物理的性質を利用して、高速航空機やミサイル、宇宙船、通信衛星などの軍事産業や航空宇宙産業において構造部材として用いられる。ベリリウムは低密度かつ原子量が小さいためX線やその他電離放射線に対して透過性を示し、その特性を利用してX線装置や粒子物理学の試験におけるX線透過窓として用いられる。 ベリリウムを含有する塵は人体へと吸入されることによって毒性を示すため、その商業利用には技術的な難点がある。ベリリウムは細胞組織に対して腐食性であり、慢性ベリリウム症と呼ばれる致死性の慢性疾患を引き起こす。.

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ウラン

ウラン(Uran, uranium )とは、原子番号92の元素。元素記号は U。ウラニウムの名でも知られるが、これは金属元素を意味するラテン語の派生名詞中性語尾 -ium を付けた形である。なお、ウランという名称は、同時期に発見された天王星 (Uranus) の名に由来している。.

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オリンパス

リンパス株式会社(Olympus Corporation)は、日本の光学機器・電子機器メーカーである。本社は東京都新宿区西新宿に所在。.

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オックスフォード・インストゥルメンツ

ックスフォード・インストゥルメンツ(英名:Oxford Instruments)は分析機器を開発、製造するイギリスアビンドン=オン=テムズの企業。.

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シリコンドリフト検出器

リコンドリフト検出器(シリコンドリフトけんしゅつき、Silicon Drift Detector、SDD)は、エネルギー分散型X線検出器(Energy Dispersive X-ray Detector)の一種であり、半導体検出器である。従来のシリコン半導体検出器(Si(Li)検出器)に比べ、同じエネルギー分解能で、高計数での処理が可能である。つまり、良いエネルギー分解能を維持したまま、多くのX線を計数することが可能である。さらに、ペルティエ素子での冷却による動作が可能であるため、液体窒素による冷却が必要ないので、検出器全体が小型かつ軽量である。 多くのX線を計数することが可能なため、エネルギー分散型X線分析に用いた場合、検出器に入力するX線量を増やすことによる分析時間の短縮や検出下限の向上が可能となる。 検出器のシリコン素子の受光面積を大きくしてもエネルギー分解能の劣化が小さいため、Mn Kα線のエネルギー分解能が130 eV以下の高エネルギー分解能の80 mm2や100 mm2以上の大口径SD検出器もある。そのため、高立体角化による高感度化が可能である。しかしながら、SD検出器はシリコン素子の厚さが、Si(Li)検出器に比べると薄いため、約15keV以上での検出感度が低下する。.

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セイコーインスツル

イコーインスツル株式会社(Seiko Instruments Inc.)は、マイクロメカ・腕時計・電子デバイス・情報システム機器・計測分析機器等の製造メーカー。略称SII(エスアイアイ)。 創業者一族の服部家を主要株主とする未公開(非上場)企業であった(2007年度に上場要件を満たすことを目標としていた)が、2009年10月にセイコーホールディングスと経営統合して、同社の完全子会社となった。 本社は千葉県千葉市美浜区幕張新都心にある。 セイコーホールディングスとセイコーエプソンとともに「セイコーグループ」の中核企業であった。.

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サーモフィッシャー・サイエンティフィック

ーモフィッシャーサイエンティフィック (英:Thermo Fisher Scientific)はアメリカ合衆国マサチューセッツ州に本社を置く世界最大の科学機器・試薬メーカーである。世界50ヵ国に65,000人の従業員を擁し、170億ドルの収益を上げている。2006年にサーモエレクトロン社とフィッシャー・サイエンティフィック社が合併した事により誕生した。また2014年ライフテクノロジーズ社を買収し、世界最大規模の科学機器・試薬メーカーとなった。.

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元素分析

元素分析(げんそぶんせき)は、化学物質を構成する元素の種類と構成比率を決定する手法のことをいう。 化学物質はすべて元素からできているので、構成する元素の種類と量を決定することはきわめて重要である。 元素分析には様々な方法が存在するが、有機合成の分野では以下に記す燃焼法(燃焼分析)を指すのが一般的である。また、無機化合物には、主にICP、ESCA、SIMS、EPMAなどの手法が用いられる。.

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粒子線励起X線分析

粒子線励起X線分析(りゅうしせんれいきエックスせんぶんせき、PIXE、Particle Induced X-ray Emission)とは、物質にイオンビームを照射して発生した特性X線を検出し、元素分析をする手法。 入射イオンとしては、陽子ビームが一般的に用いられる。ビーム径は2μm程度であるが、エネルギーが100eV以下では電界イオン銃を用いることで0.1μmまで絞ることができる。 PIXEのほうが電子線を照射した場合よりも、バックグラウンドとなる連続X線が小さいため、検出感度が高い。.

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特性X線

ネルギーで内殻電子が励起される(左)と、その緩和過程で準位間に相当するエネルギーを持った特性X線が発生する(右)。 特性X線(とくせいえっくすせん)とは、ある原子の電子軌道や原子核において、高い電子準位から低い電子準位に遷移する過程で放射されるX線である。単一エネルギー、線スペクトルが特徴。 機器分析で使用される単一波長のX線はふつう特性X線を利用しており、発生源となる元素(ターゲット)と電子殻によって表記する。X線光電子分光ではMgKα線 (1253.6eV) やAlKα線 (1486.6eV)、X線回折ではCuKα線 (8.048keV) やMoKα線 (17.5keV) などを用いる。 内殻電子の励起源としてX線を用いたときに発生する特性X線は、蛍光X線(XRF)と呼ばれる。その他にも励起源に電子を用いて元素分析をする電子線マイクロアナライザ(EPMA)や、陽子やイオンを用いて元素分析をする粒子線励起X線分析(PIXE)がある。.

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Elvatech

Elvatechはウクライナのキエフを拠点とする分析装置や関連するソフトウェアを開発、生産する企業である。.

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走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡(そうさがたでんしけんびきょう、Scanning Electron Microscope、SEM)は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子(後方散乱電子、BSE)、透過電子、X線、カソードルミネッセンス(蛍光)、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM(走査型透過電子顕微鏡)と呼ばれる。 TEMでは主にサンプルの内部、SEMでは主にサンプル表面の構造を微細に観察する。.

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蛍光X線

蛍光X線(けいこうXせん、X-ray Fluorescence、XRF)とは、元素に特有の一定以上のエネルギーをもつX線を照射することによって、その物質を構成する原子の内殻の電子が励起されて生じた空孔に、外殻の電子が遷移する際に放出される特性X線のこと。その波長は内殻と外殻のエネルギー差に対応する。.

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電子線マイクロアナライザ

電子線マイクロアナライザ(でんしせんマイクロアナライザ Electron Probe Micro Analyzer)または電子プローブ微小分析器、略称 EPMAとは電子線を対象物に照射する事により発生する特性X線の波長と強度から構成元素を分析する電子マイクロプローブ(EMP)装置の一つである。二次電子像や反射電子像による観察が主体の電子顕微鏡に特性X線検出器としてエネルギー分散型X線分析(EDS)を付加したもの(分析用のSEMやTEM、XMAなど)と比較して、EPMAは元素分析を主体としたものであり、特性X線検出器に波長分散型X線分析(WDS)を用いるために定量精度は良いが検出効率が悪く、より高い照射電流を必要とする。 10~30立方マイクロメータの試料があればWittry, David B. (1958).

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透過型電子顕微鏡

透過型電子顕微鏡(とうかがたでんしけんびきょう、Transmission Electron Microscope; TEM)とは、電子顕微鏡の一種である。観察対象に電子線をあて、透過してきた電子線の強弱から観察対象内の電子透過率の空間分布を観察するタイプの電子顕微鏡のこと。また、電子の波動性を利用し、試料内での電子の回折の結果生じる干渉像から観察対象物の構造を観察する場合もある。物理学、化学、工学、生物学、医学などで幅広く用いられている。.

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PANalytical

PANalytical(Spectris PANalytical事業部)は分析機器を開発、製造するオランダアルメロの企業。.

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波長分散型X線分析

波長分散型X線分析 (はちょうぶんさんがたエックスせんぶんせき、length dispersive X-ray spectrometry) は、広義の意味として、電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線もしくは蛍光X線を分光結晶を介して検出器にて検出し、その波長分布から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である。一般的に、電子線を一次線として用いた場合を指すことが多く、X線を一次線として用いる場合を波長分散型蛍光X線分析 (WD-XRF) として呼ぶ。ちなみに、一次線が荷電粒子の場合は、粒子線励起X線分析法 (PIXE: Particle Induced X-ray Emission) と呼ぶ。 この分析法は、エネルギー分解能が高く、検出感度が高いので、精密な分析に有効である。しかしながら、WDSは分光結晶の角度を変えながら測定するのでに時間がかかり、複数元素の同時分析ができず、大きなプローブ電流が必要である。高精度かつ全元素を分析を行いたい場合に、エネルギー分散型X線分析(EDS)とWDSを併用して用いる場合がある。.

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日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ(ひたちハイテクノロジーズ)は、電気機器関連等を中心とした設計・製造・販売を行う日本の企業。 旧日製産業株式会社が株式会社日立製作所の電子部品・半導体関連事業の一部を統合して新発足した、日立グループの中核会社である。.

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日本電子

日本電子株式会社(にほんでんし、JEOL Ltd.)は、東京都昭島市に本社を置く、電子顕微鏡をはじめとした精密機器や理科学機器の設計、製造、販売、保守を行う企業である。東京証券取引所一部上場。.

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EDXRFエネルギー分散型X線分光

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