半導体工学と原子間力顕微鏡

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半導体工学と原子間力顕微鏡の違い

半導体工学 vs. 原子間力顕微鏡

半導体工学（はんどうたいこうがく、semiconductor engineering）は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。下記のように多様な技術が関係する。. 原子間力顕微鏡（げんしかんりょくけんびきょう、Atomic Force Microscope; AFM）は、走査型プローブ顕微鏡（SPM）の一種。その名のとおり、試料と探針の原子間にはたらく力を検出して画像を得る。 原子間力はあらゆる物質の間に働くため容易に試料を観察することができるため、探針と試料表面間に流れるトンネル電流を利用するSTMとは異なり、絶縁性試料の測定も可能である。また電子線を利用するSEMのように導電性コーティングなどの前処理や装置内の真空を必要とする事もない。このため、大気中や液体中、または高温～低温など様々な環境で、生体試料などを自然に近い状態で測定できる。 他の走査型プローブ顕微鏡と同様に空間分解能は探針の先端半径（nm程度）に依存し、現在では、原子レベルの分解能が実現されている。.

ラマン効果

ラマン効果（ラマンこうか）またはラマン散乱は、物質に光を入射したとき、散乱された光の中に入射された光の波長と異なる波長の光が含まれる現象。1928年インドの物理学者チャンドラセカール・ラマンとK・S・クリシュナンが発見した。.

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光学顕微鏡

'''研究・実習用光学顕微鏡の例''' 1：接眼レンズ、2：レボルバ、3：対物レンズ、4：粗動ハンドル、5：微動ハンドル、6：ステージ、7：鏡、8:コンデンサ、9:プレパラート微動装置 '''1900年代初頭に用いられていた顕微鏡の模式図''' 1：接眼レンズ、2：レボルバ、3：対物レンズ、4：粗動ハンドル、5：微動ハンドル、6：ステージ、7：鏡、8：絞り 双眼実体顕微鏡（ズーム機構・写真撮影対応鏡筒つき） '''双眼顕微鏡の光学系'''A：対物レンズ、B：ガリレオ望遠鏡接眼側に凹レンズを用いて正立像を得る光学系、C：調整ハンドル、D：内部対物レンズ、E：プリズム、F：リレーレンズ、G：網線、H：接眼レンズ 光学顕微鏡（こうがくけんびきょう）は、可視光線および近傍の波長域の光を利用する、顕微鏡の一種。単に顕微鏡と言う場合、これを指す。.

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光起電力効果

光起電力効果（ひかりきでんりょくこうか、Photovoltaic effect）は、物質に光を照射することで起電力が発生する現象である。光電効果の一種にも分類される。.

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走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡 (そうさがたプローブけんびきょう、Scanning Probe Microscope; SPM) は、先端を尖らせた探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡の種類である。 実際の例としては、表面を観察する際、微少な電流(トンネル電流)を利用する走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力を利用する原子間力顕微鏡(AFM)をはじめ、数多くの種類がある。.

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走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡（そうさがたでんしけんびきょう、Scanning Electron Microscope、SEM）は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子（後方散乱電子、BSE）、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM（走査型透過電子顕微鏡）と呼ばれる。 TEMでは主にサンプルの内部、SEMでは主にサンプル表面の構造を微細に観察する。.

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