アーヴィング・ラングミュアと拡散ポンプ

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アーヴィング・ラングミュアと拡散ポンプの違い

アーヴィング・ラングミュア vs. 拡散ポンプ

アーヴィング・ラングミュア（Irving Langmuir, 1881年1月31日 - 1957年8月16日）は、アメリカ合衆国の化学者、物理学者である。1932年に表面科学の分野への貢献でノーベル化学賞を受賞した。 コロンビア大学を卒業後、ゲッティンゲン大学で、ヴァルター・ネルンストのもとで化学を学び、1909年からゼネラル・エレクトリックの研究所で研究を始め1950年まで在籍した。また、「事実でない事柄についての科学」を病的科学として定義したことでも知られている。. 拡散ポンプ（かくさんポンプ、diffusion pump）は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーに主に用いられる真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略されることもある。 下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オイル蒸気は、超音速に到達して分子を捕獲し10-3から10-7 Pa（10-5から10-9 Torr）程度の真空まで作り出すことができる。また、コールドトラップ（液体窒素トラップが普通）を併用して使用しチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気速度の向上にもつながる。 拡散オイルは循環させて使用し、使用状況にもよるが半年から数年に一度くらいは交換が必要である。拡散オイルは少なすぎると焦げつくので、注入する量には注意が必要である。ヒ素などの有毒物質を使っている場合、拡散オイルにそれらが溜まっているため、交換後の拡散オイルは産業廃棄物として処理する。 背圧と動作圧力の両方に厳しい圧力制限があり、補助ポンプは必須である。排気側の背圧が高くなり臨界背圧を超えると、真空チャンバー側に拡散オイル蒸気が漏れ出すオイルバックを引き起こす。吸気側も、最大動作圧力を超えないように先にチャンバーを大気圧から粗引きしておく必要がある。 メンテナンスはユーザが行うことができ、能力の割には安価なので広く使われている。頻繁にコールドトラップへの液体窒素補充の必要があるのが難点。.

真空計

真空計（しんくうけい、vacuum gauge）は、真空のゲージ圧、つまり大気圧以下の圧力（負圧）を測るための圧力計の一種である。 測定方式によって測定できる圧力の範囲がある。使用できる範囲も決められている場合があり、それらを把握して使用する必要がある。1台で大気圧から高真空（0.1Pa未満）を測定できる真空計は存在しない。そのため最近では1個の端子に2種類の真空計を入れて、大気圧から高真空を測定できるようにした複合真空計が市販されている。多くは大気圧から中真空（100 - 0.1Pa）程度まで測定できる真空計とB-Aゲージとの組み合わせとなっている。.

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