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6 関係: 圧力、圧力測定、フィラメント、真空、真空計、電離真空計。
圧力
圧力（あつりょく、pressure）とは、.
圧力測定
この記事では、圧力や真空度の測定のため開発された、圧力計や真空計を始めとする、圧力測定（あつりょくそくてい、pressure measurement）の技術について解説する。 圧力計の一種「マノメーター」は、通常は大気圧付近の圧力を測るのに使われる。普通はマノメーターと言えば、中空の管に液体を入れて静水圧を測る器具を差すことが多い。 真空計は真空に近い圧力を測る装置である。一般的な真空を測る装置と超高真空 (一般に10-5 Pa以下)を測る装置の大きく2つに分類できる。いくつかの装置を組み合わせることにより、105 Paから10-13 Paまでの真空度を連続的に測定することもできる。 なお、ゲージ (gauge) とは計測器全般を指す語であるが、日本で単に「ゲージ」と言う場合には圧力計を指す場合も多い。.
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フィラメント
フィラメント (filament) とは細かい糸状の構造を指す。ラテン語で糸を意味するfilumに由来する。.
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真空
真空（しんくう、英語：vacuum）は、物理学の概念で、圧力が大気圧より低い空間状態のこと。意味的には、古典論と量子論で大きく異なる。.
真空計
真空計（しんくうけい、vacuum gauge）は、真空のゲージ圧、つまり大気圧以下の圧力（負圧）を測るための圧力計の一種である。 測定方式によって測定できる圧力の範囲がある。使用できる範囲も決められている場合があり、それらを把握して使用する必要がある。1台で大気圧から高真空（0.1Pa未満）を測定できる真空計は存在しない。そのため最近では1個の端子に2種類の真空計を入れて、大気圧から高真空を測定できるようにした複合真空計が市販されている。多くは大気圧から中真空（100 - 0.1Pa）程度まで測定できる真空計とB-Aゲージとの組み合わせとなっている。.
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電離真空計
電離真空計（でんりしんくうけい）は、気体をイオン化させ、流れる電流を測定することによって圧力を求める真空計の一種である。三極真空管にきわめて似た構造をもつが、動作原理はまったく違うものである。 電子が飛び出すフィラメント、グリット、イオンを集めるコレクタより構成される。 フィラメントより飛び出した電子は何度か往復しながらグリットへ向かうが、 その過程で電子は気体をイオン化していく。 当然気体の圧力が高いほうがイオン化される分子、原子が多い事になる。 イオン化された気体は -にバイアスされたコレクタに流れ込み、その電流を測定することによって 間接的に圧力を測定している。 気体の種類によってイオン化される効率に違いがあるため、気体の種類が変われば他の真空計と同じように測定値に大幅な変化をきたすおそれもある。測定の上限は酸素などの酸化性ガスでなければ1Pa程度であるが、高い圧力で作動させるとフィラメントの消耗が激しい。 グリッドから放出される軟エックス線による光電効果により 測定に関係のない電流がコレクタに流れこみ、測定不能になることによるため、 測定の下限は 1 × 10−5 Pa 程度である。 同じ原理で動作する真空計としてB-Aゲージがあるが、こちらはコレクタの面積を減らし軟エックス線の影響を減らしている。.
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