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89 関係: 加速度計、原子間力顕微鏡、半導体、宇宙、宇宙飛行士、宇宙船、微細加工技術、圧力センサ、圧電効果、圧電素子、医療、ナノトライボロジー、マイクロマシン、マイクロボット、マイクロフォン、ハイブリッド、バルクマイクロマシニング、リソグラフィ、ボロメータ、ヘッドマウントディスプレイ、プロジェクタ、ディスプレイ (コンピュータ)、デオキシリボ核酸、デジタルミラーデバイス、フィルター、フォトリソグラフィ、ダニ、アメリカ航空宇宙局、アリ、アクチュエータ、インクジェットプリンター、ウェハー、エッチング、カンチレバー、ガスクロマトグラフィー、ケイ素、シャドーマスク、シリコンウェハー、ジャイロスコープ、スタンフォード大学、センサ、センサネットワーク、タービン、サンディア国立研究所、サーフェイスマイクロマシニング、サイエンティフィック・アメリカン、共振器、光、光ルーター、光スキャナ、...、光通信、光造形法、CMOS、空気、生化学、熱膨張率、発振回路、DNAマイクロアレイ、Dynamic Random Access Memory、誘導結合プラズマ、高周波、高周波スイッチ、豊田中央研究所、能動カテーテル、電子ペーパー、電子回路、電子線描画装置、電子顕微鏡、電磁相互作用、集積回路、LIGA、MEMS-IGZOディスプレイ、Micro-TAS、NEMS、Q値、RCA、SOI、Transducers、接合法、検流計、歯車、水晶振動子、江刺正喜、波長可変レーザー、深掘りRIE、流体、流体素子、日経サイエンス、3Dプリンター。 インデックスを展開 (39 もっと) »
加速度計
加速度計（かそくどけい）は、物体の加速度を計測する機器である。 小型の加速度計（加速度センサ）はMEMS技術を用いて作製される。MEMSの加速度センサの場合、質量が小さいため感度は低下するが劇的な小型化が可能になるため、自動車のエアバッグやカーナビゲーションの傾斜計、ゲームのコントローラなどに使われている。精度は測定軸を基準に仕様されるため、軸の方向を筐体の固定面（およびその加工精度）で確定しないと加速度センサが提唱する精度に意味がなくなり、特にプリント基板上に加速度センサが実装されただけの状態では計測用途に適用し難い。.
原子間力顕微鏡
原子間力顕微鏡（げんしかんりょくけんびきょう、Atomic Force Microscope; AFM）は、走査型プローブ顕微鏡（SPM）の一種。その名のとおり、試料と探針の原子間にはたらく力を検出して画像を得る。 原子間力はあらゆる物質の間に働くため容易に試料を観察することができるため、探針と試料表面間に流れるトンネル電流を利用するSTMとは異なり、絶縁性試料の測定も可能である。また電子線を利用するSEMのように導電性コーティングなどの前処理や装置内の真空を必要とする事もない。このため、大気中や液体中、または高温～低温など様々な環境で、生体試料などを自然に近い状態で測定できる。 他の走査型プローブ顕微鏡と同様に空間分解能は探針の先端半径（nm程度）に依存し、現在では、原子レベルの分解能が実現されている。.
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半導体
半導体（はんどうたい、semiconductor）とは、電気伝導性の良い金属などの導体（良導体）と電気抵抗率の大きい絶縁体の中間的な抵抗率をもつ物質を言う（抵抗率だけで半導体を論じるとそれは抵抗器と同じ特性しか持ち合わせない）。代表的なものとしては元素半導体のケイ素（Si）などがある。 電子工学で使用されるICのような半導体素子はこの半導体の性質を利用している。 良導体（通常の金属）、半導体、絶縁体におけるバンドギャップ（禁制帯幅）の模式図。ある種の半導体では比較的容易に電子が伝導帯へと遷移することで電気伝導性を持つ伝導電子が生じる。金属ではエネルギーバンド内に空き準位があり、価電子がすぐ上の空き準位に移って伝導電子となるため、常に電気伝導性を示す。.
宇宙
宇宙（うちゅう）とは、以下のように定義される。.
宇宙飛行士
ユーリイ・ガガーリン アポロ計画でのニール・アームストロング NASAでの毛利衛 MMU) を使用して宇宙遊泳を行なっている。 宇宙飛行士（うちゅうひこうし、、ソ連／ロシアの飛行士はコスモノート カスマナーフト kosmonavt、中国の飛行士は宇航員や太空人と呼ぶのが通例）とは、宇宙船による大気圏外の飛行を行なうよう選ばれた人のこと。.
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宇宙船
ェミニ 6号 スペースシャトルのオービタ（チャレンジャー、1983年） 宇宙船（うちゅうせん、）は、宇宙機のなかで、とくに人の乗ることを想定しているものを言う。有人宇宙機とも。.
微細加工技術
微細加工技術とは微小領域に精細な加工を施す技術である。.
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圧力センサ
圧力センサ（あつりょくセンサ）は、圧力を検知するセンサ。 MEMSで一般的な圧力センサはダイアフラムゲージ(diaphragm gauge)で、隔膜（ダイアフラム）に加わる圧力を膜の変形として検出する。 変形を検出する方法には静電容量の変化やひずみゲージを使う。小型の血圧計などに使われている。 膜に耐腐食性の材料を使用すれば、反応性の液体や気体の圧力も計測できる。 その他に気体によるダンピングが気圧に依存することを利用して、振動子のQ値の変化を検出することで気圧を検出するタイプの圧力計もある。 一定圧力で作動する接点検出式の圧力スイッチも含まれる。.
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圧電効果
圧電効果（あつでんこうか ）とは、物質（特に水晶や特定のセラミック）に圧力（力）を加えると、圧力に比例した分極（表面電荷）が現れる現象。また、逆に電界を印加すると物質が変形する現象は逆圧電効果と言う。なお、これらの現象をまとめて圧電効果と呼ぶ場合もある。これらの現象を示す物質は圧電体と呼ばれ、ライターやガスコンロの点火、ソナー、スピーカー等に圧電素子として幅広く用いられている。圧電体は誘電体の一種である。 アクチュエータに用いた場合、発生力は比較的大きいが、変位が小さくドリフトが大きい。また、駆動電圧も高い。STMやAFMのプローブまたは試料の制御などナノメートルオーダーの高精度な位置決めに用いられることが多い。 なお、 は圧電気のほかピエゾ電気とも訳され、ギリシャ語で「圧搾する」、または「押す（）」を意味する からハンケルにより名付けられた。.
圧電素子
圧電素子（あつでんそし）とは、圧電体に加えられた力を電圧に変換する、あるいは電圧を力に変換する、圧電効果を利用した受動素子で、 の読みから俗に ピエゾ素子ともいわれる。水晶振動子も圧電素子の一種であるが、別扱いにされることが多く、水晶より安価な材質を使ったものを指して圧電素子と呼ぶことが多い。アクチュエータ、センサとしての利用の他、アナログ電子回路における発振回路やフィルタ回路にも用いられている。.
医療
医療（いりょう、health care、medical care）とは、人間の健康の維持、回復、促進などを目的とした諸活動について用いられる広範な意味を持った語である。広義の類語はヘルスケアや保健。.
ナノトライボロジー
ナノトライボロジー（Nanotribology）とはトライボロジー（摩擦学）の領域の一つで、原子間相互作用と量子効果が無視できなくなるナノスケールにおいて、摩擦や摩耗、凝着、潤滑のような現象がどのようにあらわれるかを研究する。その目標は、基礎・応用の両面から物質表面の性質を解明し制御するところにある。 初期のナノトライボロジー研究ではもっぱら実験による直接的な研究が行われており、走査型トンネル顕微鏡 (STM)、原子間力顕微鏡 (AFM)、表面力装置(SFA) など、極めて高い分解能で表面特性を分析できる各種の顕微法がその主役を担っていた。現在では、計算手法および計算機性能の発展の恩恵で、計算科学的な手法による研究も可能になった。 ナノスケールで表面トポロジーを変化させると、摩擦は弱まることも強まることもある。その変化の幅は巨視的なスケールの潤滑や凝着からは考えられないほど大きく、超潤滑や超凝着と呼ばれる現象さえ実現できる。極めて高い比表面積を持つマイクロマシン・ナノマシンでは摩擦と摩耗が決定的に問題となるが、可動部分に超潤滑性を持つコーティングを施すことで解決できる。また、凝着に関する問題もナノトライボロジー技術によって乗り越えられる可能性がある。.
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マイクロマシン
マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。 一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。 必ずしもMEMS.
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マイクロボット
マイクロボット（Microbot）またはマイクロロボット（Microrobot）は、大きさが 1mm 以下の自律移動可能な超小型ロボット、またはマイクロメートル単位の物体を扱えるロボットを指す。 「マイクロ」と言う言葉が小さいこと一般を指すため、混乱を避けるために大きさによって分類することがなされる。ナノロボットは、大きさが1マイクロメートル以下のロボットであるか、または1000ナノメートル未満の大きさの物体を扱えるロボットである。また、ミリロボットは大きさが1cm以下のロボット、ミニロボットは大きさが10cm以下、小型ロボットは大きさが100cm以下とされる。ただし、現状では単に小さいロボットを総称して「マイクロロボット」と呼ぶことが多い。またそのようなサイズの機械一般を指しては「マイクロマシン」と言う。 このような小さいロボットの研究や概念設計は1970年代初期、アメリカ合衆国の情報機関が極秘に開始した。当時想定されていた応用は、捕虜救出の補助や電子妨害任務である。当時は小型化技術が不十分だったため、概念設計通りのプロトタイプ開発はすぐには行えなかった。 非常に小型のロボットを発展の著しいMEMSを利用して実現するという考え方は、Anita M. Flynn の論文 “Gnat Robots (and How They Will Change Robotics)" で一般に提唱された（Proceedings of the IEEE Micro Robots and Teleoperators Workshop, Hyannis, MA, 1987年11月）。 マイクロボットは小さい故に安価に製造できる可能性があり、人間や大きなロボットには小さすぎる環境や危険すぎる環境を多数のマイクロボットで探索することが可能となる。地震で倒壊した建物で生存者を探索したり、生物の体内を探索したりといった応用が期待されている。個々のマイクロボットは力も計算能力も小さいが、多数のマイクロボットを使うことでそれを補うことができる。 20世紀末の10年間でマイクロコントローラが劇的に進化し、シリコン上の超小型の機械システム（MEMS）が登場し、マイクロボットが実現可能となったが、現実のマイクロボットはセンサ以外の機械部品にシリコンは使っていない。 マイクロボット開発の最大の課題の1つとして、非常に限られた電源で動きを実現するという問題がある。小型軽量の電池を使う方法以外に、振動や光エネルギーといった形で周囲からエネルギーを得る方法がある。 最近では Wi-Fi のような無線通信技術が登場したことでマイクロボットの通信能力が向上してきた。これにより、複数のマイクロボットが相互に通信しながら、より複雑な作業をこなすことが可能となってきている。.
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マイクロフォン
ンデンサマイクロフォン（ウィンドスクリーンを外したところ） マイクロフォンまたはマイクロホン（Microphone ）は、音を電気信号に変換する機器である。略称マイク（Mic ）。.
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ハイブリッド
*注意：この記事は曖昧さ回避も兼ねています。 --> ハイブリッド（hybrid、）は、.
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バルクマイクロマシニング
バルクマイクロマシニングとは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。 基板もしくは厚膜(数十μm以上)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。(参考:サーフェイスマイクロマシニング) 主にSOI(Silicon On Insulator)ウエハや基板そのものを加工してデバイスを作製する。 従来は水酸化カリウム(KOH)や水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)などを用いたウエットエッチングによる加工が主流であったが、ICP-RIEによる深掘りエッチングが可能となり、これが主流となった。 ボッシュプロセスの発明により、シリコンに対する垂直な深掘りエッチングが可能となった。.
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リソグラフィ
リソグラフィ (Lithography).
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ボロメータ
NASA/JPL-Caltech。 ボロメータ (bolometer、、測るもの、放射物の から）は入射する電磁波などの放射のエネルギーを、温度に依存する電気抵抗を持つ物質の受ける熱を通して計測する観測機器である。1878年にアメリカ人天文学者サミュエル・ラングレーにより発明された。名前は、光線のことを放り投げられたものを意味する により表現している。 熱力学における熱量計として使用する事が本来の使用法である。低温物理学に於いて代替し得る物は無い。 20世紀初頭には既に現在の形態になったが、近年、MEMS技術を取り入れる事で赤外線撮像素子等、応用範囲が広がりつつある。.
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ヘッドマウントディスプレイ
ヘッドマウントディスプレイの製品 ヘッドマウントディスプレイ（Head Mounted Display、略称: HMD、頭部装着ディスプレイ）は、頭部に装着するディスプレイ装置のことである。ウェアラブルコンピュータの一つ。スマートグラスとも呼ばれる。 両眼・単眼に大別され、目を完全に覆う「非透過型」や「透過型」といったタイプがある。3D/2Dにも分類できる。.
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プロジェクタ
プロジェクタ (projector) とはディスプレイ装置の一種で、画像や映像を大型スクリーンなどに投影することにより表示する装置である。プロジェクタには色々な種類があるが、現在では、DLPや液晶を使い、画像を拡大して投影する装置のことを指すのが一般的である。 そのほかには、スライドを投影するスライドプロジェクタ、透明なシート上に書いた図版を投影する、オーバーヘッドプロジェクタ (OHP) などがある。.
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ディスプレイ (コンピュータ)
ディスプレイ（display） はモニタ (monitor) ともいい、コンピュータなどの機器から出力される静止画または動画の映像信号を表示する機器である。.
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デオキシリボ核酸
DNAの立体構造 デオキシリボ核酸（デオキシリボかくさん、deoxyribonucleic acid、DNA）は、核酸の一種。地球上の多くの生物において遺伝情報の継承と発現を担う高分子生体物質である。.
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デジタルミラーデバイス
デジタルミラーデバイス(DMD) 画素の模式図 作動原理 デジタルミラーデバイス（Digital Mirror Device, 正式にはデジタル・マイクロミラー・デバイス〈Digital Micromirror Device〉）とは、テキサス・インスツルメンツ (Texas Instruments) によって開発されたMEMSデバイス。多数の微小鏡面（マイクロミラー）を平面に配列した、表示素子の一種である。.
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フィルター
フィルター（フィルタ、filter）とは、与えられた物の特定成分を取り除く（あるいは弱める）作用をする機能をもつものである。またその作用をフィルタリングと呼ぶ。.
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フォトリソグラフィ
フォトリソグラフィ（photolithography）は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光（パターン露光、像様露光などとも言う）することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、半導体素子、プリント基板、印刷版、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる。.
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ダニ
ダニ（壁蝨、蜱、蟎、螕）とは、節足動物門鋏角亜門クモ綱ダニ目に属する動物の総称である。いずれも小型の生物で、体長1mm以下のものも多い。 全世界で約2万種とも言われており、形態・生態ともに非常に多様性に富むことから、現在の「ダニ目」という分類群について多系統であることが示唆されているが、研究は進んでいない。.
アメリカ航空宇宙局
アメリカ航空宇宙局（アメリカこうくううちゅうきょく、National Aeronautics and Space Administration, NASA）は、アメリカ合衆国政府内における宇宙開発に関わる計画を担当する連邦機関である。1958年7月29日、国家航空宇宙法 (National Aeronautics and Space Act) に基づき、先行の国家航空宇宙諮問委員会 (National Advisory Committee for Aeronautics, NACA) を発展的に解消する形で設立された。正式に活動を始めたのは同年10月1日のことであった。 NASAはアメリカの宇宙開発における国家的努力をそれ以前よりもさらに充実させ、アポロ計画における人類初の月面着陸、スカイラブ計画における長期宇宙滞在、さらに宇宙往還機スペースシャトルなどを実現させた。現在は国際宇宙ステーション (International Space Station, ISS) の運用支援、オリオン宇宙船、スペース・ローンチ・システム、商業乗員輸送などの開発と監督を行なっている。 宇宙開発に加えてNASAが帯びている重要な任務は、宇宙空間の平和目的あるいは軍事目的における長期間の探査である。人工衛星を使用した地球自体への探査、無人探査機を使用した太陽系の探査、進行中の冥王星探査機ニュー・ホライズンズ (New Horizons) のような太陽系外縁部の探査、さらにはハッブル宇宙望遠鏡などを使用した、ビッグ・バンを初めとする宇宙全体への探査などが主な役割となっている。2006年2月に発表されたNASAの到達目標は、「宇宙空間の開拓、科学的発見、そして最新鋭機の開発において、常に先駆者たれ」であった。.
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アリ
アリ（蟻、螘）は、ハチ目・スズメバチ上科・アリ科（）に属する昆虫である。体長は1 mm-3 cmほどの小型昆虫で、人家の近くにも多く、身近な昆虫のひとつに数えられる。原則として、産卵行動を行う少数の女王アリと育児や食料の調達などを行う多数の働きアリが大きな群れを作る社会性昆虫。世界で1万種以上、日本で280種以上がある。種類によっては食用となる。.
アクチュエータ
アクチュエータ（actuator）は、入力されたエネルギーもしくはコンピュータが出力した電気信号を、物理的運動に変換する、機械・電気回路を構成する機械要素である。能動的に作動または駆動するもの。.
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インクジェットプリンター
インクジェットプリンター（inkjet printer）とは、インクを微滴化し、被印字媒体に対し直接に吹き付ける方式を用いた印刷機である。 インクジェットプリンター PM-700C.
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ウェハー
ウェハー、ウェーハ、ウエーハ、ウエハー、ウェハ、ウエハ（ウェイファ、wafer、/wéifər/）は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。呼称は洋菓子のウェハースに由来する。.
エッチング
ッチング（英: Etching）または食刻（しょっこく）とは、化学薬品などの腐食作用を利用した塑形ないし表面加工の技法。使用する素材表面の必要部分にのみ（防錆）レジスト処理を施し、腐食剤によって不要部分を溶解侵食・食刻することで目的形状のものを得る。 銅版による版画・印刷技法として発展してきた歴史が長いため、銅や亜鉛などの金属加工に用いられることが多いが、腐食性のあるものであれば様々な素材の塑形・表面加工に応用可能である。 金属の試験片をナイタール（エタノールと硝酸の混合液）などの腐食液によって表面を腐食することで、金属組織の観察や検査などに用いられている。.
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カンチレバー
ンチレバー カンチレバー（cantilever）は、一端が固定端、他端が自由端とされた構造体（特に梁）である。.
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ガスクロマトグラフィー
マトグラフィー (Gas Chromatography, GC) はクロマトグラフィーの一種であり、気化しやすい化合物の同定・定量に用いられる機器分析の手法である。サンプルと移動相が気体であることが特徴である。ガスクロマトグラフィーに用いる装置のことをガスクロマトグラフという。また、ガスクロとも呼称される。 測定感度は高感度な検出器を用いれば市販品でも数十fg/s（フェムトグラム毎秒）オーダーレベルにまで及ぶ。各種の科学分野で微量分析技術として汎用されている。.
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ケイ素
イ素（ケイそ、珪素、硅素、silicon、silicium）は、原子番号 14 の元素である。元素記号は Si。原子量は 28.1。「珪素」「硅素」「シリコン」とも表記・呼称される。地球の主要な構成元素のひとつ。半導体部品は非常に重要な用途である。 地殻中に大量に存在するため鉱物の構成要素として重要であり、ケイ酸塩鉱物として大きなグループを形成している。これには Si-O-Si 結合の多様性を反映したさまざまな鉱物が含まれている。しかしながら生物とのかかわりは薄く、知られているのは、放散虫・珪藻・シダ植物・イネ科植物などにおいて二酸化ケイ素のかたちでの骨格への利用に留まる。栄養素としての必要性はあまりわかっていない。炭素とケイ素との化学的な類似から、SF などではケイ素を主要な構成物質とするケイ素生物が想定されることがある。 バンドギャップが常温付近で利用するために適当な大きさであること、ホウ素やリンなどの不純物を微量添加させることにより、p型半導体、n型半導体のいずれにもなることなどから、電子工学上重要な元素である。半導体部品として利用するためには高純度である必要があり、このため精製技術が盛んに研究されてきた。現在、ケイ素は99.9999999999999 % (15N) まで純度を高められる。また、Si(111) 基板はAFMやSTMの標準試料としてよく用いられる。.
シャドーマスク
シャドーマスク方式の画面拡大図。 シャドーマスク方式によるマウスポインタの拡大図。 シャドーマスクはCRTのディスプレイ及びテレビ受像機に使われている技術の一つであり、電子ビームをRGBすなわち赤、緑、青の各色に割り振るためのもの。金属の薄い板に円形、または方形の穴が画素数分あけられた構造をしており画面表面のガラスのすぐ裏側に置かれる。 類似のものとして格子状のスロットマスクやアパーチャーグリルがある。 シャドーマスクは電子線を浴び続け、熱を持つため、熱膨張しにくい素材が使用される。アパーチャーグリル方式に比べ、製造コストが安く、耐用年数が長い。構造の特徴上ドットピッチを小さくできるため、高精細表示が可能である。 Category:ディスプレイ技術.
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シリコンウェハー
イ素の単結晶これを薄く切断してシリコンウェハーにする。 シリコンウェハーまたはシリコンウェーハ (silicon wafer) は、高純度な珪素（シリコン）のウェハーである。シリコンウェハーは、珪素のインゴットを厚さ1mm程度に切断して作られる。 シリコンウェハーは集積回路 （IC、またはLSI）の製造に最も多く使用される。このウェーハにアクセプターやドナーとなる不純物導入や絶縁膜形成、配線形成をすることにより半導体素子を形成することができる。.
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ジャイロスコープ
ャイロスコープ（gyroscope）とは、物体の角度（姿勢）や角速度あるいは角加速度を検出する計測器ないし装置。ジャイロと略されることもある（ジャイロセンサと呼ばれることもある）。.
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スタンフォード大学
タンフォード大学（Stanford University）とは、アメリカ合衆国カリフォルニア州スタンフォードに本部を置く私立大学。正式名称はリーランド・スタンフォード・ジュニア大学（）。 校訓は「Die Luft der Freiheit weht（独：自由の風が吹く）」。サンフランシスコから約60 km南東に位置し、地理上も、歴史的にもシリコンバレーの中心に位置している。.
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センサ
ンサまたはセンサー（sensor）は、自然現象や人工物の機械的・電磁気的・熱的・音響的・化学的性質あるいはそれらで示される空間情報・時間情報を、何らかの科学的原理を応用して、人間や機械が扱い易い別媒体の信号に置き換える装置のことをいい、センサを利用した計測・判別を行うことを「センシング」という。検知器（detector）とも呼ばれる。.
センサネットワーク
ンサネットワーク(Wireless Sensor Networks, WSN)とは、複数のセンサ付無線端末を空間に散在させ、それらが協調して環境や物理的状況を採取することを可能とする無線ネットワークのこと。IoTで使用するコア技術のひとつである。.
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タービン
タービン（）とは、流体がもっているエネルギーを有用な機械的動力に変換する回転式の原動機の総称ブリタニカ百科事典。.
サンディア国立研究所
ンディア国立研究所（サンディアこくりつけんきゅうじょ、Sandia National Laboratories、SNL）は、アメリカ合衆国エネルギー省が管轄する国立研究所。ニューメキシコ州アルバカーキとカリフォルニア州リバモアの2箇所に施設がある。 核兵器の開発と管理、軍事科学、安全保障の全分野などについて、国家機密に属する先進的な研究が行われている。 現在、研究所施設は政府の財産であるが、管理・運営は請負契約を結んだサンディア社（Sandia Corporation、ロッキード・マーチン社の 100％ 出資子会社）が行っている。この運営形態は GOCO (Government - Owned, Contractor - Operated) と呼ばれる。 ニューメキシコ州サイトの研究所建屋はカートランド空軍基地の敷地内に有り、訪問者は基地の東側に所在するオフィスで入構証を発行してもらう。 世界最大級のプラズマ発生装置Zマシンをニューメキシコの研究所に持ち、この装置による、臨界前核実験に代わって核実験場および爆薬を必要としない新たな核実験が行われている。.
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サーフェイスマイクロマシニング
ーフェイスマイクロマシニングは、MEMS（マイクロマシン）作製技術の一つ。 薄膜（数μm程度）を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。 集積回路作製技術に犠牲層エッチングを付加したもの。.
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サイエンティフィック・アメリカン
『サイエンティフィック・アメリカン』（Scientific American）は、アメリカ合衆国の一般読者向け科学雑誌。1845年8月28日創刊で、一般向け科学雑誌としては世界最古、また現在定期刊行されているアメリカの雑誌としても最古である。学術雑誌のような査読は行っていないが、主として第一線の研究者自らが執筆しており、内容は高く評価されている。 現在は月刊だが、初期は週刊の新聞風刊行物だった。 日本版としては『日経サイエンス』が発行されている（以前は『サイエンス』と称したが、学術誌の『サイエンス』と勘違いされるため変更した）。これはアメリカ版の翻訳記事が中心となっているが、独自の記事も加えて編集されている。そのほかイタリア版の"Le Scienze"など、多数の外国版が出ている。.
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共振器
共振器（きょうしんき）は、タンク回路とも言い、高周波回路の素子の一種で、高周波を一定の空間内（タンク）に閉じ込めるもの。共振器の内部では、共振条件を満たす周波数の電磁波しか存在できない。.
光
上方から入ってきた光の道筋が、散乱によって見えている様子。（米国のアンテロープ・キャニオンにて） 光（ひかり）とは、基本的には、人間の目を刺激して明るさを感じさせるものである。 現代の自然科学の分野では、光を「可視光線」と、異なった名称で呼ぶことも行われている。つまり「光」は電磁波の一種と位置付けつつ説明されており、同分野では「光」という言葉で赤外線・紫外線まで含めて指していることも多い。 光は宗教や、哲学、自然科学、物理などの考察の対象とされている。.
光ルーター
光ルーター（ひかりルーター）は、いわゆるルーターの一種で、特に光信号のルーティングに特化した装置。2010年現在はまだ研究段階の装置であり、実用化には至っていない。.
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光スキャナ
光スキャナ（ひかりスキャナ）は、光（おもにレーザー光）を走査（スキャン）させるデバイス。コピー機やディスプレーなどに使われる。.
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光通信
光通信（ひかりつうしん）とは伝送媒体に光ファイバーを利用した有線通信を行うことである。.
光造形法
光造形法 はラピッドプロトタイピングや3Dプリンターに使用される技術で光硬化樹脂を紫外線レーザーや類似の光源で1層ずつ硬化することによって積層してスケールモデルやプロトタイプやパターンを作成する。.
CMOS
CMOS（シーモス、Complementary MOS; 相補型MOS）とは、P型とN型のMOSFETをディジタル回路（論理回路）の論理ゲート等で相補的に利用する回路方式（論理方式）、およびそのような電子回路やICのことである。また、そこから派生し多義的に多くの用例が観られる（『#その他の用例』参照）。.
空気
気（くうき）とは、地球の大気圏の最下層を構成している気体で、人類が暮らしている中で身の回りにあるものをいう。 一般に空気は、無色透明で、複数の気体の混合物からなり、その組成は約8割が窒素、約2割が酸素でほぼ一定である。また水蒸気が含まれるがその濃度は場所により大きく異なる。工学など空気を利用・研究する分野では、水蒸気を除いた乾燥空気（かんそうくうき, dry air）と水蒸気を含めた湿潤空気（しつじゅんくうき, wet air）を使い分ける。.
生化学
生化学（せいかがく、英語：biochemistry）は生命現象を化学的に研究する生化学辞典第2版、p.713 【生化学】生物学または化学の一分野である。生物化学（せいぶつかがく、biological chemistry）とも言う（若干生化学と生物化学で指す意味や範囲が違うことがある。生物化学は化学の一分野として生体物質を扱う学問を指すことが多い）。生物を成り立たせている物質と、それが合成や分解を起こすしくみ、そしてそれぞれが生体システムの中で持つ役割の究明を目的とする。.
熱膨張率
熱膨張率（ねつぼうちょうりつ、、略: ）は、温度の上昇によって物体の長さ・体積が膨張（熱膨張）する割合を、温度当たりで示したものである。熱膨張係数（ねつぼうちょうけいすう）とも呼ばれる。温度の逆数の次元を持ち、単位は毎ケルビン（記号: ）である。.
発振回路
振回路（はっしんかいろ、electronic oscillator）は、持続した交流を作る電気回路である。その原理により、帰還型（きかんがた）と弛張型（しちょうがた）に分類できる。電波の放射や、ディジタル回路におけるクロックパルス（コンピュータ（またはデジタル回路）が動作する時に、タイミングを取る（同期を取る）ための周期的な信号）の発生が代表的な用途であるが、それ以外にも、電子回路の動作の基準となる重要な回路である。.
DNAマイクロアレイ
DNAマイクロアレイはDNAチップとも呼ばれ、細胞内の遺伝子発現量を測定するために、多数のDNA断片をプラスチックやガラス等の基板上に高密度に配置した分析器具のこと。 あらかじめ塩基配列の明らかな1本鎖のDNAを多種、基板上に配置しておき、これに検体を反応させれば、検体のDNA配列と相補的な塩基配列の部分にのみ検体のDNA鎖が結合する。結合位置を蛍光や電流によって検出し、最初の配置から検体に含まれるDNA配列を知る事が出来る。検体の塩基配列が予測できる場合には、効率的にその配列が特定できる。.
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Dynamic Random Access Memory
Dynamic Random Access Memory（ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ、DRAM、ディーラム）は、コンピュータなどに使用される半導体メモリによるRAMの1種で、コンピュータの主記憶装置やディジタル・テレビやディジタル・カメラなど多くの情報機器の、内部での大規模な作業用記憶として用いられている。（通常のSRAMと同様に）揮発性（電源供給がなくなると記憶情報も失われる）であるばかりでなく、ICチップ中の素子に小さなキャパシタが付随すること（寄生容量）を利用した記憶素子であるため、常にリフレッシュ（記憶保持動作）を必要とするダイナミックメモリであることからその名がある。SRAMに比べ、リフレッシュのために常に電力を消費することが欠点だが、今のところ大容量を安価に提供できるという利点から、DRAMが使われ続けている。.
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誘導結合プラズマ
誘導結合プラズマ（ゆうどうけつごうプラズマ、Inductively Coupled Plasma、略称：ICP）は、気体に高電圧をかけることによってプラズマ化させ、さらに高周波数の変動磁場によってそのプラズマ内部に渦電流によるジュール熱を発生させることによって得られる高温のプラズマである。誘導結合プラズマの温度は10000K程度、電子密度は約1017個/m3である。.
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高周波
周波（こうしゅうは）とは、電波、音波など、波形を構成するスペクトラムのうち比較的周波数の高いものを指す。音波の場合は、超音波と呼ばれることが多い。 「高周波」あるいは「低周波」は周波数に関する事項ではあるが、慣習上、「周波」と言い換えている。.
高周波スイッチ
周波スイッチ(こうしゅうはすいっち)とは、高周波信号の経路を切り替えるスイッチである。RFスイッチ(RF switch)とも呼ばれる。一般のスイッチと異なる点は、高周波信号を通過させる為に、特性インピーダンスに整合していることである。 機械式と電子式がある。電子式の高周波スイッチは、制御信号の状態に応じて高周波信号が通過する経路のオン/オフを切り換える。.
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豊田中央研究所
株式会社豊田中央研究所（とよたちゅうおうけんきゅうしょ、）は、自動車関連技術の研究開発を目的として1960年にトヨタグループ9社の共同出資を受けて設立された研究所である。トヨタグループ各社、豊田工業大学およびコンポン研究所などと連携、共同研究している。「豊田中研」と略される。.
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能動カテーテル
能動カテーテル（のうどうカテーテル）とは、マイクロアクチュエータを搭載し、その動作を体外から自在にコントロールできるカテーテルのこと。 内視鏡や心臓内で用いられている一部のカテーテルは、シャフトに内蔵したワイヤーを体外から牽引することで先端部を屈曲制御している。しかし、構造が複雑なため細くすることが難しい。また、ワイヤーの牽引で座屈しないようにシャフトを比較的硬くする必要があり、体内で安全に使える場所が限られる。先端にマイクロアクチュエータを搭載し、能動的に動けるようにすることで、体内の曲がりくねった先でも、その動作を体外から自在にコントロールできるようになる。さらに、マイクロアクチュエータの構成を工夫することで屈曲動作ばかりでなく、ねじれ回転運動や伸縮動作など様々な動きを実現できる。能動機構のためのマイクロアクチュエータとして形状記憶合金やポリマーアクチュエータ、液圧駆動アクチュエータなどが提案されている。また、マイクロアクチュエータを用いていないが、カテーテル先端に小さな磁性体を内蔵し、体外から電磁石を用いて磁気的に牽引するものもある。 Category:診断と治療 category:医療機器.
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電子ペーパー
電子ペーパー（でんしペーパー）とは、紙の長所とされる視認性や携帯性を保った表示媒体のうち、表示内容を電気的に書き換えられるものをいう。 1970年代に米国ゼロックス社のパロアルト研究所に所属していたニック・シェリドンがGyriconと呼ばれる最初の電子ペーパーを開発した日本で最初に電子ペーパーが開発されたのは1969年である。（nikki electronics 2008.12.29）。Gyriconの構造は、半球を白、別の半球を黒に塗り分けた微小な球をディスプレイに多数埋め込んだものである。球の一部は静電気を帯びており、電界によって球を回転させることで白地に黒い文字を浮かび上がらせられ、数千回の書き換えにも耐えた。 現在では電子ペーパーを利用した製品が一般的に販売されるまでに至り、今後は低価格化が普及の鍵とされる。.
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電子回路
I/Oが1つのチップに集積されている。 プリント基板を使った電子回路 電子回路（でんしかいろ、electronic circuit）は、電気回路の一種であるが、その対象が専ら電子工学的（弱電）であるものを特に指して言う。構成要素は良導体による配線の他、主として電子部品である。組み合わせにより、単純なものから複雑なものまで様々な動作が可能である。信号を増幅したり、計算したり、データを転送したりといったことができる。回路は個々の電子部品を電気伝導体のワイヤで相互接続することで構築できるが、近年では一般にプリント基板にフォトリソグラフィで配線を作り、そこにはんだで電子部品を固定することで回路を構築する。 集積回路では、ケイ素などの半導体でできた基板上に素子と配線を形成する。集積回路も電子回路の一種だが、この記事ではもっぱら集積回路は不可分な一個部品として扱う。集積回路の内部の電子回路については集積回路の記事を参照のこと。 プリント基板は試作には向いていないため、新規設計の評価にはブレッドボード、ユニバーサル基板などを一般に使用する。それらは開発途中で素早く回路に変更を加えることができる。 プリント基板が多用されるようになる以前は、ワイヤラッピング配線や、ラグ板などを利用した空中配線により、電子回路は作られていた。 大きくアナログ回路・デジタル回路（論理回路）・アナログとデジタルの混合信号回路（アナログ-デジタル変換回路、デジタル-アナログ変換回路など）に分けられる。取り扱う周波数により、低周波回路・高周波回路という分け方をする場合もある。.
電子線描画装置
電子線描画装置（でんしせんびょうがそうち、電子ビーム描画装置、電子ビーム露光装置、EB (electron beam) 露光装置、Electron Beam Lithography Exposure）は、電子線加工装置と走査型電子顕微鏡を応用したもので、主に半導体用レチクル作成に用いられる。電子銃から発せられた電子線を電子レンズやアパーチャー、デフレクタなどを通し、X-Y-Zステージを微細に制御しながらマスクブランクスへ照射して目的のパターンを露光する。また、マーク付きウェハーへの直接描画（ダイレクト描画）機能を持つものもある。.
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電子顕微鏡
電子顕微鏡（でんしけんびきょう）とは、通常の顕微鏡（光学顕微鏡）では、観察したい対象に光（可視光線）をあてて拡大するのに対し、光の代わりに電子（電子線）をあてて拡大する顕微鏡のこと。電子顕微鏡は、物理学、化学、工学、生物学、医学（診断を含む）などの各分野で広く利用されている。.
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電磁相互作用
電磁相互作用（でんじそうごさよう）は、電場あるいは磁場から電荷が力を受ける相互作用のことをいい、基本相互作用の一つである。電磁気学によって記述される。場の理論においてラグランジアンに対してU(1)ゲージ対称性を付与することで現れるU(1)ゲージ場の成分が電磁気学におけるいわゆるスカラーポテンシャル及びベクトルポテンシャルと対応し、また自身についても対応する自由ラグランジアンを持っている。ラグランジュ形式で議論することで、物質に対応する変数でオイラーラグランジュ方程式を解くことで電磁場から物質に対しての影響を、逆に電磁場に対応する変数でオイラーラグランジュ方程式を解くことで物質側から電磁場に与える影響を導き出すことができ、それぞれ、通常の力学でのローレンツ力とマクスウェル方程式のうちのガウスの法則とアンペールマクスウェル方程式を導出することになる。.
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集積回路
SOPパッケージに封入された標準ロジックICの例 集積回路（しゅうせきかいろ、integrated circuit, IC）は、主としてシリコン単結晶などによる「半導体チップ」の表面および内部に、不純物の拡散による半導体トランジスタとして動作する構造や、アルミ蒸着とエッチングによる配線などで、複雑な機能を果たす電子回路の多数の素子が作り込まれている電子部品である。多くの場合、複数の端子を持つ比較的小型のパッケージに封入され、内部で端子からチップに配線されモールドされた状態で、部品・製品となっている。.
LIGA
LIGAとはドイツ語でX線を用いたフォトリソグラフィ(Lithographie)、電解めっき (Galvanoformung)、形成(Abformung)による微細加工を意味する。 1980年代初頭にカールスルーエ核開発研究所(Institut für Kernverfahrenstechnik IKVT)のErwin Willy BeckerとWolfgang Ehrfeldのチームによってウラン濃縮のための圧力勾配で噴出すガスの遠心力を用いる流体素子の一種である同位体分離ノズルを製造するために開発された。 LIGAは高縦横比の微細構造物を作成する要求に応える最初の主要な技術の一つである。MEMS素子の製造において重要な役割を担う。高輝度のX線を要するのでシンクロトロン放射光を使用する。 今日では3種類の異なるLIGA技術がある。.
MEMS-IGZOディスプレイ
MEMS-IGZOディスプレイ（メムス イグゾー ディスプレイ）は、シャープとクアルコムの子会社であるPixtronixによって開発され、2013年に発表された、MEMSによるシャッターを用いたディスプレイである。.
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Micro-TAS
Micro-TAS(Micro-Total Analysis Systems:μ-TAS)は、MEMS技術を用いて、チップ上に微小な流路や反応室、混合室を設け、一つのチップもしくはデバイスで血液やDNAをはじめさまざまな液体や気体を分析する生化学分析デバイス。 例えば蚊に吸われた程度の血液で血液検査ができたり、一括して大量のDNAを分析できたりする。.
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NEMS
NEMS（ネムスと読む。Nano Electro Mechanical Systems）は、主に半導体集積回路作製技術を用いて作製されたnmオーダーの機械構造を持つデバイスのことである。電子集積回路との集積化も可能である。 加工技術の微細化により、MEMSよりも小さな機械構造を作製できるようになり、NEMSの実現が可能となった。 材料としてはMEMSで使用されたものに加え、カーボンナノチューブやDNA、生体分子などが使用される。 今のところバイオテクノロジーやnano領域での計測、操作が主な応用先である。 MEMSデバイスの一部がnmオーダーの場合（例えばAFMのカンチレバーなど）でもNEMSと分類されることがある。 語としては、NEMSとナノマシンの関係は、MEMSとマイクロマシンのそれと同じようなところであるが、ナノマシンは生体分子そのものを指すこともあったり、SFなどで空想的に使われていることもあり、現実的にはより広い範囲を指しているものとされているように思われる。.
Q値
Q値(、品質係数Q)は主に振動の状態を表す無次元量である。弾性波の伝播においては、媒質の吸収によるエネルギーの減少に関係する値である。振動においては、1周期の間に系に蓄えられるエネルギーを、系から散逸するエネルギーで割ったもので、この値が大きいほど振動が安定であることを意味する。また、Q値は振幅増大係数とされる場合もある。これは、共振周波数近傍での強制振動における最大振幅が静的強制力による変位のQ倍となることから解釈される。振動子や電気回路の場合には一般にQ値が高いほうが望ましいが、逆にQ値が高いほど応答性が悪くなり、起動時間が長くなるという面もある。 振動する物理量の実際の振動状態は、周波数軸に展開した振動振幅()や位相()のスペクトラムにより理解される。振動スペクトラムの共振ピーク近傍の形はその振動系の振動状態を特徴付ける。Q値とは で定義される無次元数。ここで、\omega_0、\omega_1、\omega_2 はそれぞれ共振ピークでの共振周波数、共振ピークの左側において振動エネルギーが共振ピークの半値となる周波数、共振ピークの右側において振動エネルギーが半値となる周波数である。ここで を半値幅と呼ぶ。 Q値の低い機械振動系は振動エネルギーの分散が大きい系である。 Q値の高い構造物では一旦振動が開始されると振動が長く続く。 Q値が低い素材は振動がすぐに減少する性質がある。これを利用して防振材、防音材に用いられる。.
RCA
RCA（Radio Corporation of America、アメリカ・ラジオ会社）は、オーウェン・D・ヤングが創立し、ゼネラルエレクトリックによって買収されたアメリカ合衆国のエレクトロニクス（電気機器・半導体）事業を中心とする多国籍企業。現在はテクニカラー社（Technicolor SA、旧トムソン）が所有する登録商標であり、商標使用権売却により様々な商品分野でRCAブランドの商品が販売されている。.
SOI
従来のMOSFETの構造 SOIを用いたMOSFETの構造 SOI (Silicon on Insulator) は、CMOS LSIの高速性・低消費電力化を向上させる技術である。 従来の集積回路上のMOSFETは、素子間分離をPN接合の逆バイアスによって形成するが、寄生ダイオードやサブストレートとの間に浮遊容量が生じ、信号の遅延やサブストレートへのリーク電流が発生していた。この浮遊容量を低減するため、MOSFETのチャネルの下に絶縁膜を形成し、浮遊容量を減らしたものがSOIである。また、このような絶縁膜を内包したウエハをSOIウエハと呼び、従来のウエハはSOIウエハと区別するためにバルクシリコン（バルクウエハ）と呼ばれる場合がある。 浮遊容量はCMOSのMOSFETに対して、スイッチング時の遅延/電流を増加させる要因であるため、浮遊容量の低減は高速度化/低消費電力化の両方の面で有利になる。 また2次元的な素子間分離にもpn接合の逆方向バイアスによるものではなく、素子下の絶縁膜と結合させた絶縁材を形成することで、完全に分離されたMOSFETを構成できるようにしている。この場合、寄生ダイオードによって意図せず生成されるバイポーラトランジスタを抑制することができ、素子間の浮遊容量/リーク電流を低減することができる。 また素子間分離のためのウェルも小さくできるため、PMOS-NMOS間の距離を小さくでき、配置密度を高めることができる。 SOIウエハの製造法は、SIMOX(Separation by IMplantation of OXygen)方式と張り合わせ方式の2種類がある。SIMOX方式はIBMが中心となって開発した技術で、酸素分子をイオン注入によりシリコン結晶表面から埋め込み、それを高熱で酸化させることでシリコン結晶中に酸化シリコンの絶縁膜を形成する。現在ではSIMOX方式よりさらに表面特性の優れたSmartCut方式が主流になっている。これは、バルクウエハの表面に酸化膜を形成したのちもう一枚の加工されていないバルクウエハと表面同士で貼り合わせ、先のウエハを剥離して作成するものである。剥離厚は酸化膜より深部に事前に注入された水素イオンの表面からの距離によって制御され、剥離面は化学機械研磨(CMP)により表面仕上げされる。 SOIウエハの製造コストは、バルクシリコンのウエハに比べ工程が増えるためその分高価になる。.
Transducers
Transducersは、MEMS関係の国際学会の1つ。MEMS関係の学会では最大規模となっており、隔年ごとに開催されている。 「Transducers」と複数形で表記した場合は「学会」を指すが、「Transducer（トランスデューサ、変換器）」と単数形で表記した場合はセンサやアクチュエータを示す。たとえば、圧力を電気信号に「変換」するトランスデューサは圧力センサである。また、電気を力や変位に変換するトランスデューサはアクチュエータである。そのような意味でMEMSデバイスの多くは「トランスデューサ」であるといえる。 Category:電子工学.
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接合法
接合法（せつごうほう、）とは、いくつかの物をつなぎ合わせ一体化させる技術のこと。つなぎ合わせる物の種類によって多くの方法が存在する。.
検流計
検流計（けんりゅうけい、ガルバノメータとも）は電流を検出し、測定するための機器である。コイルを貫流する電流に応じて、指針（ポインター）が回転して偏向を作り出して円弧を通して測定量を示す電気機械変換器、トランスデューサー（指示電気計器）のひとつである。.
歯車
歯車（はぐるま、英: gear）とは、伝動車の周囲に歯形を付けて確実な動力伝達を可能にした機械要素である大西1997 pp11-2。英語では「gear」で、日本語ではギア、ギアーと表記されることもあるが、JISでの表記はギヤである。減速や増速、回転軸の向きや回転方向を変えたり、動力の分割などに用いる。.
水晶振動子
小型 4 MHz 水晶振動子 ハーメチックシールされたCANパッケージに収められている 水晶振動子の中身 水晶振動子の等価回路 水晶振動子（すいしょうしんどうし、quartz crystal unit または ）は、水晶（石英）の圧電効果を利用して高い周波数精度の発振を起こす際に用いられる受動素子の一つである。Xtalと略記されることもある。クォーツ時計、無線通信、コンピュータなど、現代のエレクトロニクスには欠かせない部品となっている。水晶発振子と呼ばれることがある。.
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江刺正喜
江刺 正喜（えさし まさよし、1949年1月30日 - ）は、日本の工学者。MEMSの世界的権威である。.
波長可変レーザー
波長可変レーザーとは波長を変更可能なレーザー。.
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深掘りRIE
深掘りRIE（ふかほりアールアイイー、Deep RIE）とは、反応性イオンエッチング (RIE) の一つで、アスペクト比の高い（狭く深い）反応性イオンエッチングをいう。アスペクト比が高いことから高アスペクト比エッチングとも言われる。「深堀り」は誤字。「深掘りエッチング」とも呼ばれる。 半導体デバイスのDRAMなどでは耐圧を上げたり大きなコンデンサを作製する場合に使われる。また、MEMSにおけるバルクマイクロマシニングの主要な作製技術であり、多くのデバイスはこの方法を用いて作製されている。 深く掘る手法は通常高密度プラズマを使い、サンプルを低温に冷やす方法とボッシュプロセスと呼ばれるエッチング技術を用いる方法、その両方を用いるものがある。 高密度プラズマを発生する方法は主に、誘導結合プラズマ (ICP) RIEが用いられる。ECR-RIE (Electron Cyclotron Resonance-RIE) と呼ばれるマイクロ波を用いた方法もあるが、装置が高くなるためICP-RIEが主流となっている。 MEMSではより深いエッチングが要求されるので、ボッシュプロセスと呼ばれるエッチング側面の保護とエッチングを繰り返し行うエッチング方法が用いられる。.
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流体
流体（りゅうたい、fluid）とは静止状態においてせん断応力が発生しない連続体の総称である。大雑把に言えば固体でない連続体のことであり、物質の形態としては液体と気体およびプラズマが流体にあたる。.
流体素子
流体素子（りゅうたいそし）は、水や空気などの流体を利用して、電気回路のスイッチングと同様の作用を行うことを目的とした部品である。.
日経サイエンス
日本経済新聞社 内 |設立.
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3Dプリンター
3Dプリンター（スリーディープリンター、）とは、3DCAD、3DCGデータを元に立体（3次元のオブジェクト：製品）を造形する機器。通常のプリンターのように紙に平面（二次元）的に印刷する形式や、鋳型を作って造形材を充填・固形化する形式と異なる。日本語では立体印刷機（りったいいんさつき）とも言う。 通常は積層造形法(additive manufacturing、AM)によるものを指す。3次元のオブジェクトを造形することを3Dプリンティング（）、三次元造形（さんじげんぞうけい）と呼ぶ。.
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