圧力センサと集積回路
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圧力センサと集積回路の違い
圧力センサ vs. 集積回路
圧力センサ（あつりょくセンサ）は、圧力を検知するセンサ。 MEMSで一般的な圧力センサはダイアフラムゲージ(diaphragm gauge)で、隔膜（ダイアフラム）に加わる圧力を膜の変形として検出する。 変形を検出する方法には静電容量の変化やひずみゲージを使う。小型の血圧計などに使われている。 膜に耐腐食性の材料を使用すれば、反応性の液体や気体の圧力も計測できる。 その他に気体によるダンピングが気圧に依存することを利用して、振動子のQ値の変化を検出することで気圧を検出するタイプの圧力計もある。 一定圧力で作動する接点検出式の圧力スイッチも含まれる。. SOPパッケージに封入された標準ロジックICの例 集積回路（しゅうせきかいろ、integrated circuit, IC）は、主としてシリコン単結晶などによる「半導体チップ」の表面および内部に、不純物の拡散による半導体トランジスタとして動作する構造や、アルミ蒸着とエッチングによる配線などで、複雑な機能を果たす電子回路の多数の素子が作り込まれている電子部品である。多くの場合、複数の端子を持つ比較的小型のパッケージに封入され、内部で端子からチップに配線されモールドされた状態で、部品・製品となっている。.
圧力センサと集積回路間の類似点
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圧力センサと集積回路の間の比較
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参考文献
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